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用离子束辅助蒸发工艺镀制高性能硫化锌红外增透膜 被引量:2
1
作者 黄心耕 《航天控制》 CSCD 北大核心 1997年第4期70-74,共5页
介绍了用离子束辅助蒸发工艺在高折射率锗(Ge)基片上镇制的高性能硫化锌(ZnS)红外增透膜(也称红外减反射膜)及其工艺的研制,通过与常规热蒸发工艺镀制的硫化锌增透膜的性能相比较,证实了离子束辅助蒸发技术对提高硫化锌红外增... 介绍了用离子束辅助蒸发工艺在高折射率锗(Ge)基片上镇制的高性能硫化锌(ZnS)红外增透膜(也称红外减反射膜)及其工艺的研制,通过与常规热蒸发工艺镀制的硫化锌增透膜的性能相比较,证实了离子束辅助蒸发技术对提高硫化锌红外增透膜的光学特性、膜层品质及改变薄膜的结构和应力状态有良好的效果。试验表明用该技术镀制高性能硫化锌红外增透膜能满足长寿命、高可靠卫星红外地球敏感器的使用要求。 展开更多
关键词 离子束蒸发 蒸发 红外增透膜 硫化锌 薄膜
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霍尔无栅离子源的离子束性能测试 被引量:1
2
作者 秦君军 朱昌 +2 位作者 潘永强 陈智利 杭凌侠 《西安工业学院学报》 2002年第4期297-299,共3页
介绍了一种新型离子源———霍尔无栅离子源 ,并论述了其工作原理 .这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点 ,而且克服了现有的有栅离子源的技术局限性 .实验结果证明 ,霍尔无栅离子源的离子流分布均匀性较好 ,离子束能量在 30... 介绍了一种新型离子源———霍尔无栅离子源 ,并论述了其工作原理 .这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点 ,而且克服了现有的有栅离子源的技术局限性 .实验结果证明 ,霍尔无栅离子源的离子流分布均匀性较好 ,离子束能量在 30~ 12 展开更多
关键词 测试 霍尔无栅离子 离子性能 工作原理 工业镀膜 离子辅助蒸发
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多体宽束冷阴极离子源在真空镀膜中的运用
3
作者 汤彦骐 孙屹群 《云光技术》 1994年第3期26-30,共5页
关键词 冷阴极 离子 离子束蒸发 镀膜
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宽束冷阴极离子源
4
作者 苗静 《西安工业大学学报》 CAS 2007年第5期503-503,共1页
离子束辅助镀膜是近20年来发展起来的新技术.宽束冷阴极离子源是离子束辅助蒸发技术的关键装置,具有寿命长,无灯丝可以连续工作、结构简单、操作方便,可使用多种惰性及反应气体等特点.同时,它还可以很方便地安装于真空镀膜设备中... 离子束辅助镀膜是近20年来发展起来的新技术.宽束冷阴极离子源是离子束辅助蒸发技术的关键装置,具有寿命长,无灯丝可以连续工作、结构简单、操作方便,可使用多种惰性及反应气体等特点.同时,它还可以很方便地安装于真空镀膜设备中而不破坏其原有的功能和性能.宽束冷阴极离子源用于离子束辅助蒸发,可以提高膜层与基底间的附着力,提高膜层强度,膜层填充密度及析射率,膜层的环境耐受性,如耐磨、耐潮、耐盐、酸、碱等性能均得到大幅度提高. 展开更多
关键词 离子 冷阴极 离子辅助镀膜 离子辅助蒸发 真空镀膜设备 蒸发技术 反应气体
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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用 被引量:1
5
作者 孙屹群 汤彦骐 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期318-320,共3页
叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
关键词 离子辅助蒸发 冷阴极离子 真空镀膜技术
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DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究 被引量:10
6
作者 白秀琴 李健 严新平 《润滑与密封》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期19-21,共3页
以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究。研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜... 以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究。研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜表面光滑,颗粒均匀,粒度小,摩擦因数降低;DLC薄膜比弹簧钢片及Ti6Al4V球基体耐磨;DLC薄膜的摩擦学性能在摩擦过程中会进一步改善。 展开更多
关键词 DLC薄膜 真空蒸发离子辅助镀膜 表面形貌 摩擦学性能
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电子元器件中的薄膜新技术 被引量:1
7
作者 严一心 《电子元器件应用》 2001年第3期13-14,共2页
本文介绍了用于电子元器件镀膜的两种新的镀膜技术:离子束辅助蒸发镀膜及非平衡磁控溅射镀膜。
关键词 离子辅助蒸发 非平衡磁控溅射 电子元器件 薄膜
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近红外激光薄膜滤光片的研制 被引量:7
8
作者 李候俊 徐均琪 +2 位作者 王建 李绵 苏俊宏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期231-236,共6页
以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF 2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计... 以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF 2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计出1.064μm高反、1.2~3μm波段增透的长波通滤光片.长波通膜系膜系结构为G|4H2L1.5H2L2H1.5L2H4L|A,减反射膜膜系结构为G|3.5 H3.5L|A.最终实现1.2~3μm波段峰值透过率达98.48%,平均透过率为92.35%,1.064μm处透过率为5.09%的光谱特性.对薄膜样品分别采用离子束处理和退火处理,发现适当的工艺参数,有助于提高薄膜激光损伤阈值,当退火温度为250℃时,其激光损伤阈值可达6.3 J/cm^2.本文研究可为近红外薄膜滤光片设计和制备提供参考. 展开更多
关键词 近红外薄膜 离子辅助热蒸发沉积 激光损伤阈值 电场强度 后续处理
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激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备 被引量:3
9
作者 李子杨 刘华松 +6 位作者 孙鹏 杨霄 白金林 徐颖 杨仕琪 季一勤 苏建忠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第3期408-414,共7页
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展... 在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展了复合谱段减反射薄膜初始膜系的设计方法研究。使用热蒸发离子束辅助沉积方法制备了多层减反射薄膜。测试结果表明,该薄膜在1 064 nm处透射率为94.0%,在8~12μm长波红外谱段平均透射率为96.3%,在8.2μm处的透射率高达99.4%。该激光/长波红外双谱段减反射薄膜具有良好的光学性能,可以应用于多模复合精确探测光电装备之中,对于提升探测系统的工作性能具有重大意义。 展开更多
关键词 光学薄膜 双谱段减反射 膜系设计 蒸发离子辅助沉积
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Chemical Composition and Mechanical Characteristic of Nitrogen Ion Beam Mixed Carbon Nanolayer
10
作者 Frantisek Cemy Petr Vlcak +3 位作者 Janez Kovac Josef Sepitka Martin Klima Libor Dvorak 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2014年第5期488-492,共5页
Ion beam methods for modification of nanohardness of surface nanolayers of the titanium alloy Ti6AI4V were applied. After deposition of carbon nanolayers by electron beam evaporation, the ion implantation of nitrogen ... Ion beam methods for modification of nanohardness of surface nanolayers of the titanium alloy Ti6AI4V were applied. After deposition of carbon nanolayers by electron beam evaporation, the ion implantation of nitrogen into samples was carried out. The chemical composition of the modified surface area was investigated by AES (auger electron spectroscopy). The nanohardness of resulted ion beam modified surface nanolayers were investigated by nanoindentation testing. The measured concentration profiles indicate the atomic mixing of carbon into the substrate. It was found that the modified samples had a markedly higher nanohardness than the unmodified samples. The increased nanohardness is attributed to the newly created phases in the surface area. 展开更多
关键词 NANOCOMPOSITE carbon thin film electron beam evaporation ion implantation.
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大面积硫化锌窗口红外保护膜设计与制备 被引量:1
11
作者 何光宗 贺芳 +3 位作者 熊长新 韩放 王航 张天行 《光学与光电技术》 2015年第5期71-74,共4页
硫化锌是重要的大尺寸红外光学窗口材料之一。根据硫化锌材料的工艺特性,采用了"减反过渡层+类金刚石膜"的复合结构,对膜系的光学性能进行了优化设计。采用离子束辅助蒸发和化学气相沉积的复合工艺在大面积的硫化锌基底上沉... 硫化锌是重要的大尺寸红外光学窗口材料之一。根据硫化锌材料的工艺特性,采用了"减反过渡层+类金刚石膜"的复合结构,对膜系的光学性能进行了优化设计。采用离子束辅助蒸发和化学气相沉积的复合工艺在大面积的硫化锌基底上沉积了红外保护膜。分别采用红外光谱仪及纳米压入仪测试了样品的红外透过率及硬度。结果表明:该薄膜样品硬度较高,且在中波及长波红外波段均具有较高的透过率。大面积硫化锌窗口红外保护膜样品通过了GJB2485规定的环境适应性测试。 展开更多
关键词 红外保护膜 大面积硫化锌窗口 离子束蒸发 化学气相沉积 环境适应性
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