钛表面反应离子束镀钯膜的耐腐蚀性

描述反应离子束在钛表面镀钯膜的耐蚀特性。用扫描电子显微镜(SEM)、x射线能谱仪(EDx)和俄歇电子谱仪(AES)观察分析膜的形貌和组分。测试镀膜样品在1mol/L H_2SO_4溶液中腐蚀性能。结果表明处理样品的耐腐性比未处理样品提高一个数量级以上。

环形激光陀螺高反膜的中性离子束镀制技术

美国罗克韦尔（ROCKWELL）国际公司已研制出一种先进的离子束溅射镀膜设备,用于生产高精度环形激光陀螺导航仪的薄膜。离子束镀膜机由一个真空度低于1010乇的真空室,两个宽束离子源,一个正方体靶装置和一个工件盘组成。真空室为φ609.6mm×609.6mm 的圆柱体,内装有膜厚分析仪,质谱仪,真空测量仪等设备,镀膜成品率可达85%。各种膜片在使用前必须进行反射率、透射率、吸收散射的测试,甚至膜层晶体结构的测试。该公司采用一种腔体衰减时间测试方法测量总损耗,测量分辨率为0.01ppm。

多功能组合光学镀膜机

西安工业大学将脉冲电弧离子束镀膜技术、非平衡磁控溅射镀膜技术和电子束热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,研制出了一种多功能组合光学镀膜机,成功实现了各种光学薄膜、光电功能多层薄膜以及光电微系统的制备。该光学镀膜机具备镀膜时被镀件始终保持在真空状态,蒸发源实时快速转换的优点,可实现所有的功能加工在一台设备内完成,有效地避免了采用不同方法制造薄膜器件时,薄膜界面之间由外界污染造成的影响。