离子注入聚醚砜薄膜的导电特性研究

用15keV的N+和Ar+注入PES,纯PES膜表面电导率提高了5个数量级,掺碘PES膜表面电导率提高4个数量级。表面电导率随剂量的变化关系具有饱和性。掺碘使未注入的PES膜表面电导率提高近一个数量级,掺碘对提高注入离子的PES膜的表面电导率作用不大。在低剂量时,注Ar+样品的表面电导率大于注N+样品的表面电导率。在最高剂量时,表面电导率和注入离子的种类无关。离子注入PES膜的表面电导率在空气中非常稳定。在0～30V范围内,离子注入PES膜的表面电导率随电压的增加而缓慢增加。