离子溅射镀膜机工件架系统设计研究

随着我国制造行业的快速发展,离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中,因此,离子溅射镀膜机对我国制造行业的发展具有重要作用。本文从磁控溅射离子镀膜机的优点入手,对磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计进行研究。

新型等离子体束溅射镀膜机

本文介绍了新型的等离子体束溅射镀膜机的系统组成、特点、试验结果等内容。该镀膜机将等离子体发生和控制技术应用于溅射镀膜中,克服了磁控溅射的靶材利用率低及难以沉积铁磁性材料的缺点。使用该镀膜机成功地进行了溅射镀膜的试验,试验结果得到了刻蚀均匀性较高的靶材,其靶偏压与靶电流的关系与国外结果相吻合。