CBN薄膜的IVD法会成

以往研究过用各种气相生长法或反应式真空蒸镀法制作BN薄膜,报道过B、N组成比及高度激活B、N使结晶成长的研究结果。本文介绍用离子照射作为激励方法的效果,以及金属B蒸镀与N离子照射制作BN薄膜的IVD法。 普通的离子束注入技术。