显微镜自动对焦方法研究综述

自动对焦是全自动显微镜的关键技术,决定着显微镜成像的精确性和实时性。对焦方法包括主动式和被动式两种,主动式是指基于数字图像处理的对焦方法,被动式是指基于光学离焦量检测的对焦方法。介绍了两种方法的原理和研究现状,通过比较其优缺点,总结出基于离焦误差检测的主动式对焦方法具有更高的精度和速度,更适用于全自动显微镜系统。

几何光探针法在表面形貌测量中的应用

本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法 ,概述了这些方法的原理、特性及发展现状 。

几何光探针在表面形貌测量中的应用

本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法 ,概述了这些方法的原理、特性及发展现状 ,并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较。