离线磁控溅射制备ITO镀膜玻璃及其应用

低辐射镀膜玻璃具有良好的透光性、优异的隔热性、保温性,被广泛地应用到节能门窗及节能建筑领域。基于对离线磁控溅射生产ITO导电膜玻璃进行详细介绍,分析其制备工艺、产品特点,通过与常规含Ag的Low-E玻璃样品进行理化试验对比,在此工艺下制备的ITO镀膜玻璃透过率高、具有良好的耐酸碱腐蚀性和耐磨性,应用前景广阔。