用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现

基于旋转补偿器的反射差分光谱（RC—RDS）技术是具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法，其全光谱快速测量性能，特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求，综合考虑使用空间、工作距离、光束直径、光谱宽度和通光率等限制因素，提出了基于离轴抛物（OAP）反射镜的光学测头设计方案，构建的测试样机实现了有效工作距离大于50cm、光斑直径小于6．5mm和光谱范围涵盖280～825nm等性能。实验研究了超高真空环境Cu（110）样品在退火处理中的RDS，仪器详细记录了信号随温度的演变过程，测量精度优于3×10-4，表明新方案满足真空环境下表面高灵敏光学测试的需求。