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以氩气为粗漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法 被引量:4
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作者 王庚林 李宁博 +1 位作者 李飞 董立军 《中国电子科学研究院学报》 北大核心 2015年第4期436-441,447,共7页
介绍了积累氦质谱检漏仪的出现和积累氦质谱组合检测方法的提出,分析了现行美国军用标准采用的以氦气为粗漏细漏示踪气体组合检测方法的局限性,介绍了改进这种方法的发明专利,指出改进后在适用严密等级τHemin和内腔容积V范围方面的局... 介绍了积累氦质谱检漏仪的出现和积累氦质谱组合检测方法的提出,分析了现行美国军用标准采用的以氦气为粗漏细漏示踪气体组合检测方法的局限性,介绍了改进这种方法的发明专利,指出改进后在适用严密等级τHemin和内腔容积V范围方面的局限性。论述了以氩气为粗漏示踪气体、以氦气为细漏示踪气体的积累氦质谱组合检测方法的优越性,给出了设计这种专利方法的逻辑思路和理论公式,指出这种方法对需要检测的τHemin和V范围,具有良好的适用性,并且提出了改进积累氦质谱检漏仪的要求。 展开更多
关键词 积累氦质谱检漏仪 粗漏细漏组合检漏 局限性 氩气粗漏检测 气细漏检测 适用性
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积累氦质谱组合检测中防止漏检的方法
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作者 王庚林 李宁博 +2 位作者 董立军 李飞 刘永敏 《中国电子科学研究院学报》 北大核心 2016年第4期407-416,共10页
作者在积累氦质谱组合检测中发现存在粗漏漏检现象,美国宇航局2013年2014年的研究报告揭示,各种组合检测复测中均存在粗漏细漏漏检现象。文章对积累氦质谱组合检测和氩粗漏氦细漏组合检测的粗漏检测,提出了确定最长粗漏检测时间的方法;... 作者在积累氦质谱组合检测中发现存在粗漏漏检现象,美国宇航局2013年2014年的研究报告揭示,各种组合检测复测中均存在粗漏细漏漏检现象。文章对积累氦质谱组合检测和氩粗漏氦细漏组合检测的粗漏检测,提出了确定最长粗漏检测时间的方法;对这两种组合检测和氦质谱检测的细漏检测,综合给出了定量确定和拓展细漏检测最长候检时间的方法,论证了压氦压力不应小于2倍的大气压力,提出了确定预充氦法和预充氦氩法最小候检时间的方法,提出了确定最长细漏检测时间的方法,从而可减少和防止粗漏和细漏漏检;并通过对美国宇航局报告中实例的分析,验证了以上方法的有效性。同时指出漏孔堵塞是造成漏检的原因之一,但不是形成微型元器件高比率漏检的主要原因。 展开更多
关键词 密封性检测 积累氦质谱 粗漏检测 细漏检测 漏检 漏孔堵塞
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氦质谱非真空积累检漏法中几个问题的研究 被引量:17
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作者 王勇 邵容华 +3 位作者 闫荣鑫 孙立臣 李征 孙伟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期118-122,共5页
氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中,因此研究氦质谱非真空检漏法具有重要的工程实际意义。本文首次详细给出了氦质谱非真空积累检漏法计算公式的详细推导过程,同时讨论了采用柔性收集室技术可能产生的一些问题。... 氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中,因此研究氦质谱非真空检漏法具有重要的工程实际意义。本文首次详细给出了氦质谱非真空积累检漏法计算公式的详细推导过程,同时讨论了采用柔性收集室技术可能产生的一些问题。研究结果表明:氦质谱非真空积累检漏法有着严格的理论依据;柔性收集室的技术在理论上是可行的。本文的研究结论可以为氦质谱非真空积累检漏法的工程应用提供理论依据。 展开更多
关键词 检漏 质谱非真空积累检漏法 刚性收集室 柔性收集室
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渗透率对柔性收集室检漏测试结果的影响分析 被引量:8
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作者 王勇 邵容平 +3 位作者 闫荣鑫 李征 孙立臣 孙伟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期149-152,共4页
柔性收集室检漏技术是氦质谱非真空积累检漏技术的一个重要分支,因此研究柔性收集室检漏技术具有重要的工程实际意义。本文首先以柔性收集室中的氦气分压为研究变量,通过建立和求解常微分方程定量得到了氦气分压随时间变化的数学解析解... 柔性收集室检漏技术是氦质谱非真空积累检漏技术的一个重要分支,因此研究柔性收集室检漏技术具有重要的工程实际意义。本文首先以柔性收集室中的氦气分压为研究变量,通过建立和求解常微分方程定量得到了氦气分压随时间变化的数学解析解。其次,通过比较渗透情形与理想情形,得到了采用柔性收集室而导致的测试相对误差与时间之间的数学关系,并结合具体两例讨论了渗透系数对检漏测试结果的影响。研究结果表明:测试结果的相对误差与被测件的泄漏率、累积时间、材料的渗透系数、有效容积均相关。本文的研究结论可以为柔性收集室的工程应用提供理论依据。 展开更多
关键词 检漏 质谱非真空积累检漏法 柔性收集室 渗透率
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