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基于扩展平均的多步相移算法及误差抑制特性比较 被引量:8
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作者 高芬 蒋庄德 +1 位作者 李兵 田爱玲 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期147-154,共8页
为满足移相干涉测量中纳米甚至亚纳米高准确度检测要求,需采用对误差敏感度更低的相移算法.基于扩展平均技术,在传统4步和3步算法的基础上分别推导了A类和B类5~13步相移算法公式,以5、6、7和13步算法为例,通过仿真及数值计算,比较了两... 为满足移相干涉测量中纳米甚至亚纳米高准确度检测要求,需采用对误差敏感度更低的相移算法.基于扩展平均技术,在传统4步和3步算法的基础上分别推导了A类和B类5~13步相移算法公式,以5、6、7和13步算法为例,通过仿真及数值计算,比较了两类算法对相移器移相误差及CCD非线性误差的抑制特性.结果表明:同类算法下,步数越多的算法,对这两项误差的抑制效果越好,但达到一定步数后对测量的影响可以忽略;B类算法具有增强的移相误差抑制能力,在相移不准情况下可优先选用B类算法;A类算法对CCD非线性误差几乎完全免疫,而B类算法受一定CCD非线性误差影响,但对大多数高准确度CCD来说,其在常规检测中的影响可以忽略;由相移噪音引入的随机性测量误差的极大值要略大于相移噪音本身,且不同算法对相移噪音的抑制效果差别不大,因此相移噪音对测量的影响不可忽略.文中给出了不同误差影响下各算法引入波面检测误差的比较数据,研究结果可为实际干涉测量中最适相移算法的使用和选用提供理论指导及数据参考. 展开更多
关键词 移相干涉测量 扩展平均技术 算法 波面检测误差 误差分析
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激光器不稳定对多步相移算法相位提取精度的影响 被引量:2
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作者 高芬 李兵 《西安工业大学学报》 CAS 2015年第9期698-704,共7页
实际移相干涉图像因受不同误差源的影响,不同相移算法的相位提取精度不同,导致实际干涉测量系统的检测精度也不同.文中以多步相移算法中的5、6、7、13步相移算法为例,仿真分析比较了不同相移算法因激光器波长不稳定和光强不稳定引入的... 实际移相干涉图像因受不同误差源的影响,不同相移算法的相位提取精度不同,导致实际干涉测量系统的检测精度也不同.文中以多步相移算法中的5、6、7、13步相移算法为例,仿真分析比较了不同相移算法因激光器波长不稳定和光强不稳定引入的面形检测误差.研究结果表明:激光器的波长不稳定和光强不稳定均在检测中引入了随机性误差;多次平均下,步数越多的算法因激光器波长不稳定和光强不稳定引入的误差越小但彼此差别不大,各算法对激光器不稳定引入的这两种误差的抑制效果均不明显. 展开更多
关键词 移相干涉测量 算法 激光器不稳定 位提取 误差分析
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高精度活塞直径测量的新进展 被引量:2
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作者 王蔚晨 朱小平 +2 位作者 崔京远 杨自本 沙定国 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期77-79,共3页
在总结了1999年及2003年两次活塞压力计基准国际比对活塞面积溯源测量经验的基础上,提出了一种实现活塞直径非接触测量的新方法.它是以一等量块作为标准,采用白光迈克耳逊干涉进行表面定位,激光干涉与移相干涉相结合实现活塞直径测量的... 在总结了1999年及2003年两次活塞压力计基准国际比对活塞面积溯源测量经验的基础上,提出了一种实现活塞直径非接触测量的新方法.它是以一等量块作为标准,采用白光迈克耳逊干涉进行表面定位,激光干涉与移相干涉相结合实现活塞直径测量的方法,该方法的特点在于将显微移相干涉应用于尺寸测量,测量不确定度可达到10-6量级.该方法可以解决中国计量科学研究院建立并维护的覆盖250MPa以下压力量值所对应的活塞压力计基准的面积溯源问题,并为诸如航天航空、汽车制造、超精加工等对陀螺、高速旋转轴系等圆柱件尺寸、形状的测量提出高精度需求的行业提供了一种新的测量方法. 展开更多
关键词 计量学 活塞直径测量 迈克耳逊干涉 干涉条纹 移相干涉测量
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基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术 被引量:4
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作者 卢丙辉 刘炳国 +2 位作者 孙和义 陈凤东 刘国栋 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期56-60,共5页
为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测,建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置,给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法,并对靶丸旋转扫描时子孔径的... 为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测,建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置,给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法,并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭代收敛速度缓慢,甚至不收敛的问题,提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径,将点云进行横向压缩的方法,在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后,对直径1mm的镀金球靶进行了实际测量,得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为1.332λ和0.479λ的检测结果,可以同时获得表面形貌的整体起伏特征,以及局部的形貌细节。 展开更多
关键词 衍射干涉测量 靶丸 表面形貌 子孔径拼接
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时频域波前检测方法抗振性能研究
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作者 王明 郝群 朱秋东 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1208-1211,共4页
针对用于现场测试的移相干涉测量系统对振动的高度敏感而过于复杂的问题,提出一种可用于现场测试的小型化、抗振动的时频域波前检测方法.采集一系列连续移相的干涉图,通过对干涉图中各点时序光强序列的频谱进行宽带滤波获取相位统计信息... 针对用于现场测试的移相干涉测量系统对振动的高度敏感而过于复杂的问题,提出一种可用于现场测试的小型化、抗振动的时频域波前检测方法.采集一系列连续移相的干涉图,通过对干涉图中各点时序光强序列的频谱进行宽带滤波获取相位统计信息.线性拟合相位统计信息后,对随机噪声的影响进行了多次取平均,将环境振动、移相非线性等非随机性扰动的影响归结为一个与像素坐标无关的值,实现了抗扰动的目的.仿真实验统计了λ/100波长精度要求下最大可承受振动的幅频积及其变化规律.研究结果验证了本方法的可行性,并为本方法在小型化移相干涉仪中的应用提供了依据. 展开更多
关键词 移相干涉测量 抗振动 时频域检测方法 最大振动幅频积
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Measurement of Apex Offsets for Fiber Connector End Faces 被引量:1
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作者 XU Yong-xiang ZHU Ri-hong CHEN Lei 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2006年第4期270-275,共6页
As one of the most important geometric parameters for a PC-type fiber connector end face, apex offset can contribute to high insertion loss and high back-reflection reading. A novel measurement method for the paramete... As one of the most important geometric parameters for a PC-type fiber connector end face, apex offset can contribute to high insertion loss and high back-reflection reading. A novel measurement method for the parameter, connector rotating-π method, is proposed. With the method, the apex offset of a common connector end face is measured. The result is compared with that measured by a Norland 3000 fiber connector end face interferometer. It is found that the difference between two results is 1.8μm. Meantime, the influences of relevant error resources on apex offset measurement under rotating-π method and apex-core method are respectively analyzed, and two error equations are derived. The analytical result shows that, compared with apex-core method, if two additional sub-tilts of axis within and in the direction perpendicular to principal plane caused by its rotation are not bigger than the original axis tilt angle, the max. measurement error will then be reduced by at least 22.5% with rotating-π method. The practicability of the method is confirmed by the experiments. 展开更多
关键词 Apex offset Fiber connector Phase shifting interferometry Algorithm
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A new route for length measurement by phase-shifting interferometry 被引量:3
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作者 LUO ZhiYong LI ZhangHong 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2012年第4期599-604,共6页
By the mathematic models of flexible hinge,the accurate relationship between the phase-shifting and pressure acting on the hinge is deduced and verified by experimental results.Through the optimization of the geometri... By the mathematic models of flexible hinge,the accurate relationship between the phase-shifting and pressure acting on the hinge is deduced and verified by experimental results.Through the optimization of the geometric parameter of flexible hinge,a phase-shifting generator is developed to determine the length of an object precisely by interferometry.The experiments show that the triple phase-shifting produced using this generator is up to 1 m.With this generator,an example for the application in length measurement is introduced.The result shows the length uncertainty is 0.5 nm when the temperature uncertainty is limited in 2 mK.This paper provides a novel technique to measure the dimension of an object,especially to the diameter of a silicon sphere for Avogadro constant project. 展开更多
关键词 phase-shifting interferometry flexible hinge mathematics model piezoelectricity transducer ETALON
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