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一种应用在半导体行业的评价尾气移除效率的测试方法
1
作者
熊艳玲
朱文心
+1 位作者
刘翔宇
姚佳人
《新技术新工艺》
2024年第7期38-45,共8页
在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)...
在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR),采用六氟化硫作为示踪气体,分别测试尾气处理设备的进口总流量、出口总流量、进口的尾气浓度以及出口的尾气浓度,根据公式计算得到尾气的分解移除效率,以实时监控和评价尾气处理设备的性能。这对于尾气处理设备行业的测试的标准化意义重大。
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关键词
FTIR
尾气处理设备
分解
移除效率
测试方法
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职称材料
软件缺陷移除效率及其测量
2
作者
韩婷婷
黎翠凤
《计算机系统应用》
2007年第9期38-41,共4页
软件缺陷移除在任何软件项目中都是开销最大的活动,并在很大程度上影响项目进度,因而对缺陷移除效率的测量成为软件开发组织最为重要的一项软件质量度量。为此通过矩阵的方法来记录缺陷起源和缺陷发现阶段的数据,得出了缺陷移除效率的...
软件缺陷移除在任何软件项目中都是开销最大的活动,并在很大程度上影响项目进度,因而对缺陷移除效率的测量成为软件开发组织最为重要的一项软件质量度量。为此通过矩阵的方法来记录缺陷起源和缺陷发现阶段的数据,得出了缺陷移除效率的操作定义,并定义了阶段缺陷移除效率、全面缺陷移除效率、审查效率和测试效率的计算公式。
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关键词
缺陷
移除效率
操作定义
千行代码
阶段缺陷
移除效率
全面缺陷
移除效率
全面审查
效率
全面测试
效率
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职称材料
基于MSC-IDA的土壤重金属镉污染移除净化技术研究
3
作者
刘倩
李爱霞
张艳青
《农学学报》
2023年第3期65-70,共6页
受到各种条件的限制,土壤重金属镉污染采用统一净化方案并不能取得最佳治理效果。针对上述问题,提出基于MSC-IDA(磁性固体螯合剂)的土壤重金属镉污染移除净化技术。设计了4种不同的净化方案,设定不同的土壤样本(重金属镉元素含量:0.925...
受到各种条件的限制,土壤重金属镉污染采用统一净化方案并不能取得最佳治理效果。针对上述问题,提出基于MSC-IDA(磁性固体螯合剂)的土壤重金属镉污染移除净化技术。设计了4种不同的净化方案,设定不同的土壤样本(重金属镉元素含量:0.925、0.642、0.61 mg)、MSC-IDA浓度(0.01、0.05、0.1、0.20 mol/L)、净化时间(时间:0~120 min)、土壤粒径不同(50、100、200目),研究这些方案下的MSCIDA对土壤重金属镉污染的移除净化效果。结果表明:方案1条件下,在添加MSC-IDA后,3种土壤样本中镉含量均明显减少,其中样本1的去除率最高,为5.22%;方案2发现,在MSC-IDA添加量小于0.1 mol/L时,土壤中镉的去除率随MSC-IDA浓度的增加而增加,但当MSC-IDA含量超过0.1 mol/L之后,上升幅度逐渐趋于平缓,样本1(Cd:0.925 mg/kg)去除率>样本2(Cd:0.642 mg/kg)>样本3(Cd:0.61 mg/kg)。方案3发现,震荡时间与镉的去除率成正比,但是90 min后,镉去除率增长趋于平缓,最后开始下降。方案4发现土壤粒径越大,MSC-IDA的净化效果越好,3种不同样本中,MSC-IDA对样本2(0.642mg/kg)的净化效果最好。
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关键词
MSC-IDA
土壤污染
镉
移除效率
净化
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职称材料
基于湿法纺丝技术构建环糊精/聚乙烯醇纤维膜及其对空气污染物的移除性能
被引量:
2
4
作者
赵决波
邢程远
+5 位作者
姜猛进
李帮经
张晟
陈朝喜
代弢
汪露
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第8期118-124,共7页
文中探索了一种制备稳定、长时、高效移除效率和透气性的空气过滤材料的新方法。通过湿法纺丝技术制备了含β-环糊精(β-CD)的空气过滤膜(CD/PVA纤维膜),该纤维膜对PM2.5的移除效率约高达99%,其最大压差为673 Pa,QF值为0.025 Pa^(-1)(而...
文中探索了一种制备稳定、长时、高效移除效率和透气性的空气过滤材料的新方法。通过湿法纺丝技术制备了含β-环糊精(β-CD)的空气过滤膜(CD/PVA纤维膜),该纤维膜对PM2.5的移除效率约高达99%,其最大压差为673 Pa,QF值为0.025 Pa^(-1)(而PVA的最大压差值高达943,QF值为0.005 Pa^(-1)),表明CD/PVA纤维膜具有良好的移除率和透气性能。与商用空气过滤膜相比,CD/PVA纤维膜的移除率可以与其媲美,而透气性能远优于商用空气过滤膜,吸附30 h后,商用空气过滤膜的压差值高达865 Pa, CD/PVA纤维膜仅为284 Pa。同时,CD/PVA纤维膜可以吸附空气中的气体污染物(例如SO2),75CD/PVA对SO2移除率达到69.6%,而PVA纤维膜对SO2的移除率仅为50%。
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关键词
环糊精
湿法纺丝技术
移除效率
透气性能
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职称材料
故障察觉率可变的软件可靠性增长模型
被引量:
2
5
作者
吴开贵
张烨
+2 位作者
尹鲁燕
陈镭
李明辉
《计算机系统应用》
2011年第9期103-106,共4页
证明了基于G-O模型的NHPP类型的软件可靠性增长模型不需要考虑不完美排错和排错过程中新错误的引入,并在该基础上提出了一种新的软件可靠性增长模型。该模型在软件排错过程中不但考虑了软件开发员对系统熟悉程度的上升,而且考虑了系统...
证明了基于G-O模型的NHPP类型的软件可靠性增长模型不需要考虑不完美排错和排错过程中新错误的引入,并在该基础上提出了一种新的软件可靠性增长模型。该模型在软件排错过程中不但考虑了软件开发员对系统熟悉程度的上升,而且考虑了系统现存错误数的不断减少,是一种故障检测率随时间变化的软件可靠性增长模型。并利用现有的公开发表的数据对该模型进行测试,发现其达到了比G-O模型的等其他模型更好的拟合效果。
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关键词
非齐次泊松过程
故障检测率
软件可靠性增长模型
非完美排错
故障
移除效率
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职称材料
题名
一种应用在半导体行业的评价尾气移除效率的测试方法
1
作者
熊艳玲
朱文心
刘翔宇
姚佳人
机构
埃地沃兹贸易(上海)有限公司
上海材料研究所有限公司上海市工程材料应用与评价重点实验室
出处
《新技术新工艺》
2024年第7期38-45,共8页
文摘
在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR),采用六氟化硫作为示踪气体,分别测试尾气处理设备的进口总流量、出口总流量、进口的尾气浓度以及出口的尾气浓度,根据公式计算得到尾气的分解移除效率,以实时监控和评价尾气处理设备的性能。这对于尾气处理设备行业的测试的标准化意义重大。
关键词
FTIR
尾气处理设备
分解
移除效率
测试方法
Keywords
FTIR
tail gas treatment equipment
destructive removal efficiency(DRE)
test method
分类号
TQ330 [化学工程—橡胶工业]
TH39 [机械工程—机械制造及自动化]
TH123+.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
软件缺陷移除效率及其测量
2
作者
韩婷婷
黎翠凤
机构
鲁东大学计算机科学与技术学院
出处
《计算机系统应用》
2007年第9期38-41,共4页
文摘
软件缺陷移除在任何软件项目中都是开销最大的活动,并在很大程度上影响项目进度,因而对缺陷移除效率的测量成为软件开发组织最为重要的一项软件质量度量。为此通过矩阵的方法来记录缺陷起源和缺陷发现阶段的数据,得出了缺陷移除效率的操作定义,并定义了阶段缺陷移除效率、全面缺陷移除效率、审查效率和测试效率的计算公式。
关键词
缺陷
移除效率
操作定义
千行代码
阶段缺陷
移除效率
全面缺陷
移除效率
全面审查
效率
全面测试
效率
分类号
TP311.52 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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职称材料
题名
基于MSC-IDA的土壤重金属镉污染移除净化技术研究
3
作者
刘倩
李爱霞
张艳青
机构
济源市环境科学研究所
河南省土壤重金属污染监测与修复重点实验室
出处
《农学学报》
2023年第3期65-70,共6页
文摘
受到各种条件的限制,土壤重金属镉污染采用统一净化方案并不能取得最佳治理效果。针对上述问题,提出基于MSC-IDA(磁性固体螯合剂)的土壤重金属镉污染移除净化技术。设计了4种不同的净化方案,设定不同的土壤样本(重金属镉元素含量:0.925、0.642、0.61 mg)、MSC-IDA浓度(0.01、0.05、0.1、0.20 mol/L)、净化时间(时间:0~120 min)、土壤粒径不同(50、100、200目),研究这些方案下的MSCIDA对土壤重金属镉污染的移除净化效果。结果表明:方案1条件下,在添加MSC-IDA后,3种土壤样本中镉含量均明显减少,其中样本1的去除率最高,为5.22%;方案2发现,在MSC-IDA添加量小于0.1 mol/L时,土壤中镉的去除率随MSC-IDA浓度的增加而增加,但当MSC-IDA含量超过0.1 mol/L之后,上升幅度逐渐趋于平缓,样本1(Cd:0.925 mg/kg)去除率>样本2(Cd:0.642 mg/kg)>样本3(Cd:0.61 mg/kg)。方案3发现,震荡时间与镉的去除率成正比,但是90 min后,镉去除率增长趋于平缓,最后开始下降。方案4发现土壤粒径越大,MSC-IDA的净化效果越好,3种不同样本中,MSC-IDA对样本2(0.642mg/kg)的净化效果最好。
关键词
MSC-IDA
土壤污染
镉
移除效率
净化
Keywords
MSC-IDA
soil pollution
cadmium
removal efficiency
purification
分类号
X53 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
基于湿法纺丝技术构建环糊精/聚乙烯醇纤维膜及其对空气污染物的移除性能
被引量:
2
4
作者
赵决波
邢程远
姜猛进
李帮经
张晟
陈朝喜
代弢
汪露
机构
西南民族大学生命科学与技术学院
高分子材料工程国家重点实验室四川大学高分子研究所
中国科学院成都生物研究所
出处
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第8期118-124,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(21908183)
四川省科技培训项目(2016KZ0007)
西南民族大学中央高校基本科研业务费专项资金(2019NQN17)。
文摘
文中探索了一种制备稳定、长时、高效移除效率和透气性的空气过滤材料的新方法。通过湿法纺丝技术制备了含β-环糊精(β-CD)的空气过滤膜(CD/PVA纤维膜),该纤维膜对PM2.5的移除效率约高达99%,其最大压差为673 Pa,QF值为0.025 Pa^(-1)(而PVA的最大压差值高达943,QF值为0.005 Pa^(-1)),表明CD/PVA纤维膜具有良好的移除率和透气性能。与商用空气过滤膜相比,CD/PVA纤维膜的移除率可以与其媲美,而透气性能远优于商用空气过滤膜,吸附30 h后,商用空气过滤膜的压差值高达865 Pa, CD/PVA纤维膜仅为284 Pa。同时,CD/PVA纤维膜可以吸附空气中的气体污染物(例如SO2),75CD/PVA对SO2移除率达到69.6%,而PVA纤维膜对SO2的移除率仅为50%。
关键词
环糊精
湿法纺丝技术
移除效率
透气性能
Keywords
cyclodextrin
wet spinning technology
removal efficiency
permeability
分类号
X51 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
故障察觉率可变的软件可靠性增长模型
被引量:
2
5
作者
吴开贵
张烨
尹鲁燕
陈镭
李明辉
机构
重庆大学计算机学院
出处
《计算机系统应用》
2011年第9期103-106,共4页
基金
国家自然科学基金(90818028)
文摘
证明了基于G-O模型的NHPP类型的软件可靠性增长模型不需要考虑不完美排错和排错过程中新错误的引入,并在该基础上提出了一种新的软件可靠性增长模型。该模型在软件排错过程中不但考虑了软件开发员对系统熟悉程度的上升,而且考虑了系统现存错误数的不断减少,是一种故障检测率随时间变化的软件可靠性增长模型。并利用现有的公开发表的数据对该模型进行测试,发现其达到了比G-O模型的等其他模型更好的拟合效果。
关键词
非齐次泊松过程
故障检测率
软件可靠性增长模型
非完美排错
故障
移除效率
Keywords
non-homogeneous poisson(NHPP)
fault detection rate
software reliability growth model(SRGM)
imperfect debugging
fault removal efficiency
分类号
TP311.52 [自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种应用在半导体行业的评价尾气移除效率的测试方法
熊艳玲
朱文心
刘翔宇
姚佳人
《新技术新工艺》
2024
0
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职称材料
2
软件缺陷移除效率及其测量
韩婷婷
黎翠凤
《计算机系统应用》
2007
0
下载PDF
职称材料
3
基于MSC-IDA的土壤重金属镉污染移除净化技术研究
刘倩
李爱霞
张艳青
《农学学报》
2023
0
下载PDF
职称材料
4
基于湿法纺丝技术构建环糊精/聚乙烯醇纤维膜及其对空气污染物的移除性能
赵决波
邢程远
姜猛进
李帮经
张晟
陈朝喜
代弢
汪露
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
2
下载PDF
职称材料
5
故障察觉率可变的软件可靠性增长模型
吴开贵
张烨
尹鲁燕
陈镭
李明辉
《计算机系统应用》
2011
2
下载PDF
职称材料
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