基于微热板技术的氢气传感器

新型固态氢气传感器将新颖的氢化金属薄膜与带微热板的微机电(MEMS)系统结构相结合。微热板结构通过硅表面微加工制作,产生带有嵌入式加热器并与衬底绝热的悬置平台。涂覆钯保护层的稀土金属薄膜淀积在这个结构上,用作主动氢气敏感层。当敏感元件暴露在氢气中时,这两层的电阻变化就是传感器的输出。对空气中0.25%氢气的响应时间为亚秒(低于1s)。可测量低于200ppm的氢气浓度。传感器的上升时间和下降时间取决于微热板的有效温度,且随加热器功率的增加而变短。上述结果表明,该器件满足微量氢气测量的敏感需求。