CO2激光标刻系统中用作扫描器件的空心玻璃波导管及卤化银光纤

我们设计并创建了一个以弯曲扫描型波导管为基础的CO2标刻系统（卤化银红外光纤或空心玻璃波导管）。CO2激光器放置在波导管的顶端，波导管的末端靠近样品表面。将一块永久性磁铁放置在波导管末端，磁铁应按x,y方向置放，使用可变化电磁场。用在线计算机系统来控制激光能量、末端位置以及扫描速度。该系统可用于对各种表面的切割、加热和标刻。本文还研究并比较了空心波导管和卤化银光纤的输出形状分布、斑点尺寸及分辨率等。