空心阴极辉光放电包覆铜纳米粉末

简要叙述了自悬浮定向流方法制备铜纳米粉末的原理和包覆层薄膜的生长机理,采用空心阴极辉光放电对铜纳米粉末进行有机包覆,实验中CH4和H2的流量分别为6 ml/min和12 ml/min,工作电压为450 V,衬底与空心阴极的底端距离为2 cm,背景真空和工作气压分别为6 Pa和100 Pa,沉积速率为7.5 nm/min.用透射电镜(TEM)对铜纳米粉末进行了观察和分析,结果表明:铜纳米粉末呈球状,其粒径分布在10～100 nm之间, 平均粒径大小为50 nm;其包覆层的厚度大约为15 nm,而且该厚度可以通过调节空心阴极辉光放电的参数来控制.

氮气快脉冲放电等离子体的光谱分析

对氮气快脉冲放电等离子体进行了光谱分析，并与其它放电方法进行了比较；对使用铝电极和石墨电极的放电光谱也进行了分析和比较。

一种新型的离子镀用HCD枪

介绍一种偏转磁场和电场相平行的HCD枪(平行场枪)的研制结果。该装置由四个电磁场简化成只有一个磁极,结构简单、性能稳定、调试方便,实践证明是合理的。

空心阴极放电离子镀法沉积氮化钛涂层

论述了空心阴极放电离子镀的工作原理，ＫＹＦ－６００型离子镀膜机的特点，各工艺参数的选择与控制以及ＴｉＮ涂层齿轮切削性能的试验与结果分析。试验表明，经镀覆ＴｉＮ的高速钢齿轮刀具可提高寿命１至４倍，经济效益显著。

多元多层纳米膜技术

该技术是在离子镀技术上发展起来的一项镀膜技术。在真空室内采用真空弧光放电方法激发阴极材料．形成原子和离子，在电场作用下．原子和离子束高速轰击作为阳极的工件表面。与此同时向真空室内通入反应气体，即可在工件表面形成镀层。