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空气传播分子污染物、源头及监控系统的研究
1
作者
吴维明
郝美功
《洁净与空调技术》
2009年第1期71-75,共5页
通过研究某半导体制造工厂应用AMC控制程序的案例,探讨关于AMC控制的具体内容,了解AMC并掌握如何制定正确的AMC评估战略、描述与建立AMC控制原则和规范、理解AMC控制系统的设计理念。
关键词
空气传播分子污染物
污染
源头
根除控制
实时监控
下载PDF
职称材料
题名
空气传播分子污染物、源头及监控系统的研究
1
作者
吴维明
郝美功
机构
上海申和热磁电子有限公司硅材料事业二部
出处
《洁净与空调技术》
2009年第1期71-75,共5页
文摘
通过研究某半导体制造工厂应用AMC控制程序的案例,探讨关于AMC控制的具体内容,了解AMC并掌握如何制定正确的AMC评估战略、描述与建立AMC控制原则和规范、理解AMC控制系统的设计理念。
关键词
空气传播分子污染物
污染
源头
根除控制
实时监控
Keywords
Airborne Molecular Contaminant
Contaminant Source
deracinate for a cortol
real time monitoring
分类号
X51 [环境科学与工程—环境工程]
TP277 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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出处
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1
空气传播分子污染物、源头及监控系统的研究
吴维明
郝美功
《洁净与空调技术》
2009
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