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电子洁净室空气化学污染物检测研究进展
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作者 刘辉翔 孟令鹏 +1 位作者 陈雯柏 李卫 《科学技术与工程》 北大核心 2024年第22期9261-9272,共12页
随着芯片制程的降低,对于生产芯片的电子洁净室提出了更高的环境要求,其中检测痕量气态化学污染物是重要的一个环节。对国际标准、国家标准、半导体线路图当中对于电子洁净室的环境要求以及不同污染物对芯片制造会有哪些危害进行阐述。... 随着芯片制程的降低,对于生产芯片的电子洁净室提出了更高的环境要求,其中检测痕量气态化学污染物是重要的一个环节。对国际标准、国家标准、半导体线路图当中对于电子洁净室的环境要求以及不同污染物对芯片制造会有哪些危害进行阐述。论述了当前电子洁净室中对于痕量气体主要的测量方法原理,并针对最低检测限、灵敏度几个方面阐述前人研究。总结了当前用于测量的不同公司的仪器标称性能,并提出不同测量方法针对检测下限和灵敏度提升的主要改进措施。提出了未来可以将传感器阵列与深度学习相结合,在软件和算法层面提高对痕量气体的测量准确度。 展开更多
关键词 电子洁净室 气体传感器 环境规范 空气化学污染 痕量气体检测
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2022年南京地区居民住宅空气化学污染物数据分析与研究
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作者 赵越 赵颖峰 姜振军 《品牌与标准化》 2024年第1期93-95,共3页
通过对2022年南京地区居民住宅室内空气化学污染物随机检测的数据观察与分析,研究影响室内空气化学污染物的主要因素与应对措施。
关键词 室内空气质量 室内空气化学污染 甲醛 总挥发性有机化合物
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国外载人航天器座舱空气化学污染与对策 被引量:12
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作者 余秉良 《中国航天》 1998年第7期24-26,共3页
国外载人航天器座舱空气化学污染与对策余秉良载人航天器座舱空气化学污染已成为卫生毒理学研究的首要问题。座舱空气受到缓慢积累的或突发事故的化学污染,会对航天员安全构成严重威胁。座舱空气化学污染的潜在危险随着航天器飞行时间... 国外载人航天器座舱空气化学污染与对策余秉良载人航天器座舱空气化学污染已成为卫生毒理学研究的首要问题。座舱空气受到缓慢积累的或突发事故的化学污染,会对航天员安全构成严重威胁。座舱空气化学污染的潜在危险随着航天器飞行时间的延长而增加。载人航天器的密闭环境... 展开更多
关键词 载人航天器 空气化学污染 航天器座舱
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微电子行业洁净室空气化学污染控制 被引量:4
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作者 吴小泉 《洁净与空调技术》 2020年第2期61-67,共7页
微电子工业在日益庞大而复杂的数据处理与存储市场需求的驱动下,半导体线宽已缩小至7 nm。若不能建立起有效空气化学污染控制标准和对其彻底控制,纳米级的光刻工艺是无法进行的。介绍空气化学污染的控制设施平台的建设,并进行了实验验证... 微电子工业在日益庞大而复杂的数据处理与存储市场需求的驱动下,半导体线宽已缩小至7 nm。若不能建立起有效空气化学污染控制标准和对其彻底控制,纳米级的光刻工艺是无法进行的。介绍空气化学污染的控制设施平台的建设,并进行了实验验证,该平台是中国首例达到国际标准(ISO1级,ISO14644-1)超净空气环境设施,在该设施中可开展空气洁净度和空气污染控制等课题研究,对实际项目的设计、运行具有重要参考价值。 展开更多
关键词 半导体线宽 空气化学污染 空气洁净度 ISO 1级
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微电子洁净技术领域空气化学污染控制研究进展
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作者 车玉伶 《暖通空调》 2022年第10期156-160,22,共6页
微电子洁净室内空气化学污染严重影响产品质量和良品率。随着集成电路特征尺寸的日渐微小,空气化学污染控制要求越来越严。本文针对微电子产业洁净技术领域空气化学污染现状和控制技术进行了研究和综述,主要包括污染定义,污染物类别,空... 微电子洁净室内空气化学污染严重影响产品质量和良品率。随着集成电路特征尺寸的日渐微小,空气化学污染控制要求越来越严。本文针对微电子产业洁净技术领域空气化学污染现状和控制技术进行了研究和综述,主要包括污染定义,污染物类别,空气洁净度AMC/ACC等级划分,污染物来源、危害,污染控制策略,污染控制技术。对其发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微电子 洁净技术 空气分子污染 空气化学污染 污染控制 研究进展
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室内空气化学性污染研究 被引量:4
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作者 徐东群 《中国预防医学杂志》 CAS 2002年第3期178-181,共4页
环境污染物主要是通过空气、水和食物侵入人体的.我们可以选择无污染的水和食物,却无法选择所呼吸的空气.不管空气污染程度如何,我们每时每刻都在呼吸,一个成年人平均每天吸入15 kg空气,与每天摄入1.5 kg食物和2 kg水相比,吸入空气是接... 环境污染物主要是通过空气、水和食物侵入人体的.我们可以选择无污染的水和食物,却无法选择所呼吸的空气.不管空气污染程度如何,我们每时每刻都在呼吸,一个成年人平均每天吸入15 kg空气,与每天摄入1.5 kg食物和2 kg水相比,吸入空气是接触环境污染物的主要途径.人的一生有80%以上的时间生活、工作在室内,室内空气污染是造成人群健康危害的主要途径之一. 展开更多
关键词 室内空气化学污染 暴露评价 污染控制
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基于工程认证的“空气污染化学”课程教学模式研究与实践 被引量:1
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作者 牟玲 《中国校外教育》 2019年第24期47-48,共2页
以环境工程专业"空气污染学"课程为例,分析了在工程认证背景下高校课程教学现状及不足,并针对"空气污染化学"教学内容、教学手段、考核方式等方面提出了课程改革的措施,希望研究结果能对于建立基于工程认证背景的... 以环境工程专业"空气污染学"课程为例,分析了在工程认证背景下高校课程教学现状及不足,并针对"空气污染化学"教学内容、教学手段、考核方式等方面提出了课程改革的措施,希望研究结果能对于建立基于工程认证背景的高校专业类课程体系教学模式提供借鉴与参考. 展开更多
关键词 工程认证 高校课程 空气污染化学 教学模式
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技术标准的前瞻性与实践的互动性讨论 被引量:1
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作者 姜伟康 《洁净与空调技术》 2013年第1期45-49,共5页
从我国技术标准国际化、产业调整升级和创新发展的推手角度,浅谈技术标准的前瞻性以及实践过程中的互动性,同时说明建立我国洁净室及相关受控环境标准体系的紧迫性。
关键词 空气悬浮粒子污染(APC) 生物污染控制(BCC) 空气分子污染(AMC) 空气化学污染(ACC) 表面洁净度(SCP) GMP——质量检验 质量控制 管理体系
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Haze with Chinese residents' health problems
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作者 Dengguo ZHANG Yanyan Ju 《International Journal of Technology Management》 2015年第7期52-54,共3页
In recent years, with the acceleration of urbanization, medium-sized cities face increasingly severe, fog and haze increase, the heavy air pollution concentration, which caused acute health problems such as irritation... In recent years, with the acceleration of urbanization, medium-sized cities face increasingly severe, fog and haze increase, the heavy air pollution concentration, which caused acute health problems such as irritation and cardiovascular diseases caused widespread concern in the community. Most scholars believe that the haze is toxic and harmful gases; particulate matter and other pollutants together lead to reduced visibility as the main manifestation of the phenomenon of air pollution. Population health effects caused by the haze have been proven in many studies. The system summarizes the polluting haze weather physicochemical characteristics, introduced widely accepted definition of haze, haze hazard to residents and the proposed requirements. 展开更多
关键词 HAZE residents' health RESEARCH
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The roles of heterogeneous chemical processes in the formation of an air pollution complex and gray haze 被引量:25
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作者 ZHU Tong,SHANG Jing & ZHAO DeFeng State Key Joint Laboratory of Environmental Simulation and Pollution Control College of Environmental Sciences and Engineering,Peking University,Beijing 100871,China 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2011年第1期145-153,共9页
Urban and regional air pollutions are characterized by high concentrations of secondary pollutants such as photo-oxidants (mainly ozone) and fine particulate matter, which are formed through chemical reactions of th... Urban and regional air pollutions are characterized by high concentrations of secondary pollutants such as photo-oxidants (mainly ozone) and fine particulate matter, which are formed through chemical reactions of the primary pollutants emitted from various sources. The accumulation of these pollutants under stagnant meteorological conditions results in the formation of gray haze, reducing visibility and causing major impacts on human health and climate. In an air pollution complex, the co- existence of high concentrations of primary and secondary gaseous and particulate pollutants provides a large amount of reac- tants for heterogeneous reactions on the surface of fine particles; these reactions change the oxidizing capacity of the atmos- phere, as well as chemical compositions along with the physicochemical and optical properties of particulate matter, thereby accelerating formation of the air pollution complex and gray haze. Using in situ technologies, such as diffuse reflectance infra- red Fourier-transform spectroscopy and single-particle Raman spectroscopy, we systematically investigated the reaction kinet- ics and mechanisms of gaseous pollutants (i.e., NO2, SO2, 03, and formaldehyde) on the surfaces of the major components of atmospheric particles such as CaCO3, kaolinite, montmorillonite, NaC1, sea salt, A1203, and Tit2. We found that the main re- action products were sulfate, nitrate, or formate, which can change the hygroscopicity and light extinction parameters of those particles significantly. By analyzing the reaction kinetics of these heterogeneous reactions, we identified synergetic mechanisms of the three ternary reaction systems, ,i.e., NOE-particles-H2O, SO2-particles-O3, and organics/SO2-particles-UV illumination. These synergetic mechanisms can provide experimental and theoretical bases for understanding the feedback mechanisms and nonlinear processes in the formation of an air pollution complex and gray haze. 展开更多
关键词 fine particles secondary pollutants oxidizing capacity ternary reaction nonlinear processes
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