氮化硅陶瓷在空气气氛炉中烧结的氧化及致密化研究

本文以α-Si_(3)N_(4)粉为原料,含量为10%的Y_(2)O_(3)和Al_(2)O_(3)为烧结助剂,成功地在空气气氛炉中对氮化硅样品进行了烧结,研究了烧结温度、保温时间以及埋烧粉的粒度对氮化硅的氧化程度及致密化的影响。结果表明:提高烧结温度和适当地延长保温时间可以提高氮化硅的致密化程度,但会增加氮化硅的氧化程度;埋烧粉粒径的尺寸也会影响氮化硅的氧化程度,合适的埋烧粉粒度对氮化硅在空气中的烧结致密化有利。