空气静压支承关键技术研究

空气静压支承是依据气体润滑理论，采用压缩空气作为工作介质，实现非接触运动的精密支承方式。因其具有高精度、无摩擦、无温升、无污染等独特优势，目前广泛应用于超精密加工设备和测量仪器。中物院机械制造工艺研究所对空气静压支承的关键技术进行了研究和攻关。

空气静压支承在木工机械上的应用(一)

为了减少木工机械的工作台和工件之间的摩擦,降低工作台表面的磨损,提高加工精度和保证工作台的耐久性,本文对工作台和工件间采用空气静压支承,使一部分载荷由空气压力来承担,探讨这种半浮式滑动面形成和摩擦机制.

高灵敏度微型空气静压支承方导轨的制造技术

分析了超精密一维测量头对导轨的灵敏度要求，论述了高灵敏度小型空气静压方导轨的制造方法。采用该方法制造出来的导轨可将导轨的摩擦力控制在5mg以内，导轨的直线性控制在1μm／10mm内，这使得超精密一维测量头实现0．05μm的重复测量精度成为可能。