空气静压电主轴的稳定性研究

空气静压电主轴是高速精密加工设备的关键部件之一,其工作稳定性直接影响整机的使用性能和寿命。从自激振动和转轴涡动两个方面,对空气静压电主轴稳定性的主要影响因素进行了分析研究;并结合空气静压电主轴在半导体封装设备晶圆减薄机和划切机上的应用,重点对气浮轴承内部气容比、节流塞形式、进气压力、径向轴承结构参数、径向轴承形状误差以及动平衡等方面提出了合理的优化建议和方法,这些建议和方法在实践中起到了良好作用。

划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究

划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件。从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术。

切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度的设计

径向承载力及刚度是影响切割机空气静压电主轴高转速下工作稳定性的重要因素,也是切割机空气静压电主轴重要的设计指标。本文采用工程计算方法,对切割机空气静压电主轴径向承载力及刚度进行设计计算。

空气静压电主轴过盈联接研究

空气静压电主轴将转轴与电机转子过盈联接,实现了主轴的零传动,转轴与电机转子间的过盈量是影响主轴性能的重要因素。根据力学理论对空气静压电主轴过盈联接进行了设计和校核,并利用有限元分析软件ANSYS动态模拟了转轴与电机转子压装过程的接触应力,证实了该联接的可靠性。

基于ANSYS的空气静压电主轴热变形研究

分析了空气静压电主轴的热源和热传递;用ANSYS模拟电主轴的温度场分布及热变形;通过多步载荷的选取对比分析结果,得出了不同冷却部位对降低主轴热变形的效果不同的结论;并从降低生热和增强散热两方面出发提出了减小其热变形的措施。

划片机空气静压电主轴材料选用及加工工艺研究

从划片机空气静压电主轴的结构出发,分析了主轴的技术要求,提出了主轴材料选用的基本原则,介绍了划片机主轴的常用材料,重点论述了划片机主轴的加工阶段划分、热处理安排和定位基准选择,给出了划片机主轴的加工工艺路线图,并在实践中进行了验证。

划片机空气静压电主轴径向轴承的设计

径向轴承是划片机空气静压电主轴的关键零件,径向轴承的结构及尺寸直接影响转轴的高速旋转精度及工作性能。采用表压比法对划片机空气静压电主轴径向轴承进行设计计算,确定径向轴承的结构参数。

切割机空气静压电主轴止推轴承的设计

止推轴承是切割机空气静压电主轴的关键零件,止推轴承的结构及尺寸直接影响主轴的工作性能和稳定性。采用表压比法对切割机空气静压电主轴止推轴承进行设计计算,确定止推轴承的结构参数。

空气静压电主轴特性分析与实验

空气静压电主轴是数控机床的关键功能部件之一,主要围绕其动态特性进行分析研究。首先,针对空气静压电主轴结构及轴承结构进行分析。然后,基于空气静压电主轴的动力学建模,对其进行模态分析和谐响应分析。最后,针对空气静压电主轴进行动态测试实验,并对比仿真分析结果和实验测试结果。研究表明载荷的大小决定了空气静压轴承的偏心率,同时对电主轴前端的刚度起决定性作用。谐响应分析表明在主轴固有频率左右,空气静压电主轴前端的振动位移较大。

高速空气静压直流电主轴的调速方法

介绍一种高速空气静压直流电主轴在划片机中的应用。以往大量采用交流电主轴切割,但是其在使用中有发热量大,丢转数等缺点,直接影响切割质量。为了克服上述问题,我们采用直流电主轴进行切割,在使用中需要对直流电主轴调速。以往采用变频器面板固定频率调速,但是在使用中比较麻烦。所以我们采用计算机接口直接进行直流高频变频器的调速控制,实时监测变频器的运行状态,使其在整个系统中有很强的实用性。

全自动划片机的关键技术研究

根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施。

250全自动划片机关键技术分析与维护维修

划片是电子器件封装工艺中重要的工艺之一,是将一整片晶圆切割成独立的个体,芯片切割的质量直接影响着封装质量和器件性能。现结合多年的划片设备管理与维修经验,对日本东京精密250全自动划片机设备的工作原理、结构、维护和维修作简单介绍。