扫描干涉光刻系统光路结构误差分析与验证

扫描干涉光刻(SBIL)是实现大面积高精度全息光栅制作的新技术,为实现纳米级干涉条纹精度,左右两侧曝光光路的对称性十分关键,为准确计算曝光光路空间对称性与光学元件结构及安装误差之间的关系,提出了一种基于三维空间向量映射法的SBIL结构误差的计算评估方法,确定了曝光光束在空间传输或反射时各元件结构误差对光路对称性及干涉条纹直线度误差的影响,为验证上述模型,设计了基于压电陶瓷(PZT)条纹锁定的模拟系统,并通过数值仿真验证了上述模型,确定了该系统下实现纳米级条纹误差时各元件的结构与安装误差需求,搭建实验光路验证了在不同误差情况下干涉条纹误差情况,该模型计算相对简洁且易于实现,可指导SBIL结构与安装精度的设计与分配。

资源贫乏型语言间文本相似度计算方法

文本相似度计算是自然语言处理领域的研究热点和难点。自2013年“一带一路”倡议提出以来,我国急需小语种国家和地区的商业情报信息。选取中文和藏文进行比较,并采用基于多级双语向量空间映射技术的文本相似度算法计算藏汉文本相似度。首先,对文本进行预处理,并对中文文本和藏文文本进行分词;然后,利用多级双语向量空间映射框架,将藏文词向量和中文词向量映射到同一抽象的语义空间下,词间相似度则由映射后的词向量计算得出;最后,计算得出基于词间相似度的文本相似度。利用已训练完毕的汉藏词向量得到最佳多级框架,再选择6个类别的中文和藏文新闻作为试验数据,配以映射后的汉藏词向量计算汉藏文本相似度。试验结果表明,该方法可通过相似度结果有效区分同类别和异类别新闻。