二次电子发射模型的精度对精确预测空间大功率微波部件微放电阈值有很大影响。针对现有二次电子发射唯象模型的不足,采用分段函数的思想建立了一种计算金属材料二次电子发射系数(secondary electron yield,SEY)的复合半经验模型。该模型...二次电子发射模型的精度对精确预测空间大功率微波部件微放电阈值有很大影响。针对现有二次电子发射唯象模型的不足,采用分段函数的思想建立了一种计算金属材料二次电子发射系数(secondary electron yield,SEY)的复合半经验模型。该模型以Vaughan模型计算入射能量Ep<Epm(二次电子发射系数最大值所对应的入射电子能量)时材料的二次电子发射系数,以文中建立的半经验模型计算入射能量Ep≥Epm时材料的二次电子发射系数,并利用钼和银两种材料二次电子发射系数的测试结果对复合半经验模型进行了验证。模拟结果表明,复合半经验模型能够对溅射清洗前后及不同入射极角条件下的SEY进行精确表征,相对误差的平均值和均方差明显低于Vaughan模型和半经验模型,且在不同入射极角条件下该模型具有较好的稳定性,在很大程度上提高了二次电子发射模型与实验数据拟合的准确性。该模型有望应用于空间大功率微波部件的微放电功率阈值的模拟。展开更多
文摘二次电子发射模型的精度对精确预测空间大功率微波部件微放电阈值有很大影响。针对现有二次电子发射唯象模型的不足,采用分段函数的思想建立了一种计算金属材料二次电子发射系数(secondary electron yield,SEY)的复合半经验模型。该模型以Vaughan模型计算入射能量Ep<Epm(二次电子发射系数最大值所对应的入射电子能量)时材料的二次电子发射系数,以文中建立的半经验模型计算入射能量Ep≥Epm时材料的二次电子发射系数,并利用钼和银两种材料二次电子发射系数的测试结果对复合半经验模型进行了验证。模拟结果表明,复合半经验模型能够对溅射清洗前后及不同入射极角条件下的SEY进行精确表征,相对误差的平均值和均方差明显低于Vaughan模型和半经验模型,且在不同入射极角条件下该模型具有较好的稳定性,在很大程度上提高了二次电子发射模型与实验数据拟合的准确性。该模型有望应用于空间大功率微波部件的微放电功率阈值的模拟。