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一种空间微型质谱仪的芯片级离子源研究
1
作者
窦仁超
崔寓淏
+5 位作者
喻新发
冯琪
刘坤
闫荣鑫
孙立臣
孟冬辉
《真空》
CAS
2024年第2期42-46,共5页
设计了一种空间微型质谱仪用三电极场芯片级离子源结构,该离子源由5层电极板构成气体电离区和离子引出区。采用MEMS技术制备了芯片级离子源原理样机,测试了其电子流、离子流和稳定性。结果表明:该芯片级离子源能够产生0.357 mA以上的电...
设计了一种空间微型质谱仪用三电极场芯片级离子源结构,该离子源由5层电极板构成气体电离区和离子引出区。采用MEMS技术制备了芯片级离子源原理样机,测试了其电子流、离子流和稳定性。结果表明:该芯片级离子源能够产生0.357 mA以上的电子流,接收到的离子流可以达到527 pA,满足空间探测任务中微小型质谱仪离子源的功能要求。
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关键词
微机电系统
离子源
深空探测
空间质谱仪
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职称材料
题名
一种空间微型质谱仪的芯片级离子源研究
1
作者
窦仁超
崔寓淏
喻新发
冯琪
刘坤
闫荣鑫
孙立臣
孟冬辉
机构
北京卫星环境工程研究所
东北大学机械工程与自动化学院
出处
《真空》
CAS
2024年第2期42-46,共5页
基金
国防科技基础加强计划技术领域基金(2022-JCJQ-JJ-0764)。
文摘
设计了一种空间微型质谱仪用三电极场芯片级离子源结构,该离子源由5层电极板构成气体电离区和离子引出区。采用MEMS技术制备了芯片级离子源原理样机,测试了其电子流、离子流和稳定性。结果表明:该芯片级离子源能够产生0.357 mA以上的电子流,接收到的离子流可以达到527 pA,满足空间探测任务中微小型质谱仪离子源的功能要求。
关键词
微机电系统
离子源
深空探测
空间质谱仪
Keywords
MEMS
ion source
deep space exploration
mass spectrometer of spacecraft
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
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作者
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1
一种空间微型质谱仪的芯片级离子源研究
窦仁超
崔寓淏
喻新发
冯琪
刘坤
闫荣鑫
孙立臣
孟冬辉
《真空》
CAS
2024
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