悬浮打印的波长可控光热微执行器及其特性

光热微执行器广泛应用于光学微机电系统和微机器人。利用功能染料的窄带吸波特性制作可控制性强、位移大的波导式激发光热U型微执行器,并仿真了该执行器的温度和位移变化。制作了单臂长度和半径分别为5.8 mm和200μm的窄波段响应光热微执行器。实验结果表明,本方案制作的执行器具有位移响应大、能量利用率高、生产成本低以及集成度高的优势。在功率为100 mW激光的驱动下,该执行器自由端能在紫光(408 nm)或红光(638 nm)波段实现100~160μm的位移,远大于非对应波段光束产生的位移(20μm)。