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双离子束溅射制备近红外窄带通滤光片的光谱和表面形貌 被引量:5
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作者 陈刚 刘定权 +3 位作者 马冲 王凯旋 张莉 高凌山 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第21期206-212,共7页
为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3)基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375nm和1610nm,带宽分别为15nm和60nm,透过率均达到了95%。基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化... 为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3)基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375nm和1610nm,带宽分别为15nm和60nm,透过率均达到了95%。基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化。与电子束蒸镀薄膜相比,采用双离子束溅射沉积方法制备的Nb2O5/SiO2滤光片薄膜,其表面质量明显改善,缺陷减少,表面粗糙度均方根降低到1nm以下,显著改善了与光电探测器光耦合时的不均匀性。 展开更多
关键词 薄膜 离子束溅射沉积 窄带通滤光片 表面形貌
原文传递
遗传算法应用于干涉滤光片的设计
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作者 方溁 李劲松 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期657-660,共4页
为了设计参量更加优良的干涉滤光片,在光子晶体基础上,利用遗传算法设计了窄带滤光片、宽带阻滤光片宽带通滤光片。进行了总结并对需待完善的地方进行了说明。所设计干涉滤光片可以根据给定材料的折射率,计算出此滤光片的最优化透射率... 为了设计参量更加优良的干涉滤光片,在光子晶体基础上,利用遗传算法设计了窄带滤光片、宽带阻滤光片宽带通滤光片。进行了总结并对需待完善的地方进行了说明。所设计干涉滤光片可以根据给定材料的折射率,计算出此滤光片的最优化透射率。结果表明,如果评价函数对膜系结构的微小变化敏感,用遗传算法对膜系的优化能获得好的结果和较高的效率。 展开更多
关键词 材料 遗传算法 光子晶体 窄带通滤光片 滤光片 滤光片
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