期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
FinFET芯片TEM样品制备及避免窗帘效应方法
1
作者
胡康康
王刘勇
+3 位作者
黄亚敏
郎莉莉
董业民
王丁
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第8期1301-1307,共7页
制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过...
制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过程中从技术角度提出了两种自下而上制样方案来抑制窗帘效应。为扩大样品的可表征视场范围,在避免样品弯曲的前提下,提出了一种薄片提取方法。结果表明,离子束流越大,窗帘效应越严重,自下而上方法能有效规避窗帘效应;离子束电压30 kV时采用清洗截面(CCS)模式、5 kV/2 kV时采用矩形模式,样品台倾斜补偿角度为1.5°~3.5°,进行交叉减薄,且最终铣削长度控制在1μm时减薄效果最好;新的薄片提取方法改变了样品的铣削方向,在避免窗帘效应破坏感兴趣结构和样品弯曲的前提下,将样品的可表征视场范围扩大了5倍。研究结果对优化TEM样品制备方法以及芯片失效分析提供了参考。
展开更多
关键词
聚焦离子束(FIB)
透射电子显微镜(TEM)样品
14
nm鳍式场
效应
晶体管(FinFET)
窗帘效应
失效分析
下载PDF
职称材料
渤中地区EWR–Phase4随钻测井异常响应特征
被引量:
3
2
作者
刘红岐
刘建新
+1 位作者
代春明
张雅茹
《西南石油大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期73-81,共9页
结合井眼环境下随钻测井电磁场数值模拟计算的研究结果,分析了中浅电阻率和相位移深中浅电阻率这两大类随钻电阻率曲线异常变化的主要特征和产生的原因。并以中海油渤中地区哈里伯顿公司EWR–Phase 4随钻测井仪器所测量的这两类电阻率...
结合井眼环境下随钻测井电磁场数值模拟计算的研究结果,分析了中浅电阻率和相位移深中浅电阻率这两大类随钻电阻率曲线异常变化的主要特征和产生的原因。并以中海油渤中地区哈里伯顿公司EWR–Phase 4随钻测井仪器所测量的这两类电阻率曲线为例进行详细阐述。选取了3口典型井的随钻幅度衰减和相位移电阻率曲线,通过对地层岩性、渗透性、泥浆侵入,机械钻速、井眼环境等几个因素的分析,特别是对极浅、浅、中和深电阻率曲线的变化范围和变化趋势等曲线特征进行了分析。研究认为,电阻率曲线异常主要表现为佐罗效应、"窗帘花边"效应和极化角突变等几种主要类型,而引起这种异常变化的原因既有井眼或地层倾斜的影响,也有薄互层、非均质性、螺纹井眼以及钻铤侧向震动等诸多方面的影响。
展开更多
关键词
随钻测井
EWR–Phase
4
佐罗
效应
窗帘
花边
效应
大斜度井
下载PDF
职称材料
题名
FinFET芯片TEM样品制备及避免窗帘效应方法
1
作者
胡康康
王刘勇
黄亚敏
郎莉莉
董业民
王丁
机构
上海理工大学材料与化学学院
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第8期1301-1307,共7页
基金
中国科学院战略性先导科技专项(A类)(XDA18030100)
文摘
制备高质量纳米尺度芯片透射电子显微镜(TEM)样品对于探索半导体器件结构设计、材料分布与芯片性能之间的关系具有重要的意义。使用聚焦离子束(FIB)/扫描电子显微镜(SEM)双束系统制备14 nm鳍式场效应晶体管(FinFET)截面TEM样品,制备过程中从技术角度提出了两种自下而上制样方案来抑制窗帘效应。为扩大样品的可表征视场范围,在避免样品弯曲的前提下,提出了一种薄片提取方法。结果表明,离子束流越大,窗帘效应越严重,自下而上方法能有效规避窗帘效应;离子束电压30 kV时采用清洗截面(CCS)模式、5 kV/2 kV时采用矩形模式,样品台倾斜补偿角度为1.5°~3.5°,进行交叉减薄,且最终铣削长度控制在1μm时减薄效果最好;新的薄片提取方法改变了样品的铣削方向,在避免窗帘效应破坏感兴趣结构和样品弯曲的前提下,将样品的可表征视场范围扩大了5倍。研究结果对优化TEM样品制备方法以及芯片失效分析提供了参考。
关键词
聚焦离子束(FIB)
透射电子显微镜(TEM)样品
14
nm鳍式场
效应
晶体管(FinFET)
窗帘效应
失效分析
Keywords
focused ion beam(FIB)
transmission electron microscope(TEM)sample
14 nm fin field effect transistor(FinFET)
curtaining effect
failure analysis
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
渤中地区EWR–Phase4随钻测井异常响应特征
被引量:
3
2
作者
刘红岐
刘建新
代春明
张雅茹
机构
"油气藏地质及开发工程"国家重点实验室.西南石油大学
中海油田服务股份有限公司
中国石油吉林油田公司扶余采油厂
西安长庆科技工程有限责任公司
出处
《西南石油大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期73-81,共9页
基金
国家科技重大专项(2011ZX05030–005–03)
文摘
结合井眼环境下随钻测井电磁场数值模拟计算的研究结果,分析了中浅电阻率和相位移深中浅电阻率这两大类随钻电阻率曲线异常变化的主要特征和产生的原因。并以中海油渤中地区哈里伯顿公司EWR–Phase 4随钻测井仪器所测量的这两类电阻率曲线为例进行详细阐述。选取了3口典型井的随钻幅度衰减和相位移电阻率曲线,通过对地层岩性、渗透性、泥浆侵入,机械钻速、井眼环境等几个因素的分析,特别是对极浅、浅、中和深电阻率曲线的变化范围和变化趋势等曲线特征进行了分析。研究认为,电阻率曲线异常主要表现为佐罗效应、"窗帘花边"效应和极化角突变等几种主要类型,而引起这种异常变化的原因既有井眼或地层倾斜的影响,也有薄互层、非均质性、螺纹井眼以及钻铤侧向震动等诸多方面的影响。
关键词
随钻测井
EWR–Phase
4
佐罗
效应
窗帘
花边
效应
大斜度井
Keywords
LWD
EWR–Phase 4
Zorro effect
lace curtain effect
large deviation well
分类号
TE132 [石油与天然气工程—油气勘探]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
FinFET芯片TEM样品制备及避免窗帘效应方法
胡康康
王刘勇
黄亚敏
郎莉莉
董业民
王丁
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
渤中地区EWR–Phase4随钻测井异常响应特征
刘红岐
刘建新
代春明
张雅茹
《西南石油大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部