立式硅基工艺炉的柔性内热偶设计

阐述立式硅基工艺炉的柔性内热偶设计,内热偶的工作原理、内热偶的结构设计、内热偶的应用状况、内偶扩散步对比,作为内热偶,采用分段式的柔性热电偶的灵敏度会优于一体化式的传统热电偶。