低压等离子体增强化学汽相沉积法制备立方氮化碳薄膜

用低压等离子体增强化学汽相沉积法和氮化硅中间过渡层的方法，在硅片和玻璃上，制备了立方氮化碳薄膜．用光电子能谱测试了其成分和结合能，薄膜含氮量为４２９６％．Ｃ１ｓ和Ｎ１ｓ的结合能分别为２８５０１和３９８６０ｅＶ．透射电子显微镜研究表明，制备的氮化碳属于体心立方结构，根据衍射花样，计算的晶格常量ａ为０５３６ｎｍ，这与理论预言的结果ａ为０５３９７３ｎｍ很接近．随着沉积的时间增长，还观测到了氮化碳薄膜的菊池花样．在玻璃上沉积的氮化碳薄膜在可见光和近红外区域是透明的，在４００ｎｍ处有光吸收．