精密V形竖轴系润滑特性及精度分析

精密V形轴系是广泛应用于精密计量仪器中的一种油润轴系,如码盘自动检测仪光电圆刻机等使用的就是V形轴系。本文对这种轴系的润滑状况、精度分析进行了研究。

竖直轴系倾角回转误差的两种测试方法的比较

在某回转轴系上建立了一系列坐标系 ,通过坐标系之间的姿态关系分别推导了用水平仪测试法和自准直光管测试法测试主轴轴系倾角回转误差时水平仪和光管的读数表达式。根据水平仪和自准直光管读数中的各个误差组成部分和倾角回转误差在它们中的表达式的区别 ,得出了水平仪法能测试出主轴回转误差中的一次谐波成分 。

水平仪测试竖直轴系倾角回转误差的数据处理

为了更加准确地评定用水平仪测量竖直轴系的倾角回转误差,利用水平仪测试数据中误差的组成成分,明确两维水平仪读数中的谐波成分与回转误差中的谐波成分的相互关系。基于已有的2种数据处理方法,提出了将测量数据转换到固定坐标系下2种新的处理方法。详细分析了4种数据处理方法的优缺点,其中一次谐振分离方法将回转误差中的一次谐振量成功分离,得到了完整的回转误差。通过改变铅垂度,对轴系回转误差进行8次测量,对比所辨识的参数,从而验证了该方法的正确性。