基于力反馈的笔式自动化直写系统研究

研究并设计了一种基于力反馈的笔式自动直写系统，系统主要部分包括精密三轴线性位移台、高分辨率微力传感器及信号调理电路、数据采集卡。通过接触力检测与反馈，由LABVIEW编程控制，使位移台实现任意设定路径的运动，从而实现任意图案的直写。系统可实现微牛级接触力检测、纳米级位移增量控制以及0．05mrn／s至2．3mm／s速度范围内可调等，为笔式直写技术在微／纳米器件制造领域的应用提供了重要的技术支持。应用毛笔在纸质基底实现直写，从而对系统的各项性能进行了实践性的验证。