棱镜是空间和军用白光、红外光学系统中的关键元件之一,能够在光学系统中实现更高精度的成像质量,故提出了超高精度棱镜的加工和检测技术。首先,分析了适用于棱镜加工的工装材料及加工方法,指出了超高精度棱镜加工的难点和关键点.然后,...棱镜是空间和军用白光、红外光学系统中的关键元件之一,能够在光学系统中实现更高精度的成像质量,故提出了超高精度棱镜的加工和检测技术。首先,分析了适用于棱镜加工的工装材料及加工方法,指出了超高精度棱镜加工的难点和关键点.然后,介绍了超高精度棱镜加工的工装制作、棱镜粘接、加工、检测方法,以及预防损害棱镜工装的防护措施。最后,通过加工总高为35~95mm的施密特硒化锌棱镜,用Zygo干涉仪进行面形检测,其面形精度达到RMS 0.007μm(λ=632.8nm);用精密测角仪Pris mm aster C2000进行角度检测,其第一光学平行差小于1″;用XQ20-GI平面激光干涉仪检测第二光学平行差为1.048″;用原子力显微镜检测表面粗糙度为2.9nm。展开更多
文摘棱镜是空间和军用白光、红外光学系统中的关键元件之一,能够在光学系统中实现更高精度的成像质量,故提出了超高精度棱镜的加工和检测技术。首先,分析了适用于棱镜加工的工装材料及加工方法,指出了超高精度棱镜加工的难点和关键点.然后,介绍了超高精度棱镜加工的工装制作、棱镜粘接、加工、检测方法,以及预防损害棱镜工装的防护措施。最后,通过加工总高为35~95mm的施密特硒化锌棱镜,用Zygo干涉仪进行面形检测,其面形精度达到RMS 0.007μm(λ=632.8nm);用精密测角仪Pris mm aster C2000进行角度检测,其第一光学平行差小于1″;用XQ20-GI平面激光干涉仪检测第二光学平行差为1.048″;用原子力显微镜检测表面粗糙度为2.9nm。
