一级平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析

本文介绍了一级平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析。

平面等厚干涉仪校准方法探讨

本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。

平面等厚干涉仪数显化改造

介绍了一种应用高分辨率工业相机及图像处理技术改造传统的平面等厚干涉仪,在保留平面等厚干涉仪原有光路系统且确保其能输出准确的干涉条纹的前提下,仅对读数部分和数据处理部分进行改造,利用图像处理软件对图像进行自动识别和数据处理,实现平晶干涉条纹图象自动采集处理、平晶检定数据自动化存储处理,并对装置的测量不确定度进行评定。

等厚干涉数字处理系统研究与测量

将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定。

等厚干涉数字处理系统平晶测量不确定度分析

将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定。

CCD等厚干涉实验仪的研究

采用显微光学系统取代读数显微镜,构成新型的CCD等厚干涉实验仪。通过计算机图像处理技术来补偿因视场扩大带来的条纹分辨率降低的影响。实验测试比较显示,CCD等厚干涉实验仪具有实验观察效果好和采集数据更方便的优点。

基于不同光路仪器的平晶表面形状判断方法探讨

讨论了在不同光路的仪器上,平晶表面形状的判断方法。具体分析了加压分析判断法的应用技巧,了解其原理,灵活运用;说明了阶跃温升法的通用性,介绍了该方法对于一级平晶表面形状判断的优势;介绍了试测分析判断法的参考价值,说明其适用范围。

PG15-J4型激光平面干涉仪的数字化改造

本文研究对中国科学院上海光学精密机械研究所生产的PG15-J4型激光平面干涉仪进行数字化改造，通过加装CCD相机，将干涉图像采集到计算机中，然后对采集到的图像进行滤波、细化等处理，并按照JJG 28—2000《平晶检定规程》对图像处理后得到的条纹进行计算，得到被测平晶的平面度。经实验验证，改造后的干涉仪满足了对φ150mm以下的一、二级平晶的检定要求，适用于计量部门对平晶进行检定。

平晶表面形状加压分析判断法的原理与应用探讨

平晶表面形状的判断对于平晶平面度的计算非常重要,错误的判断将会直接导致计算错误。该文通过对加压分析判断法原理的介绍,讨论在实际检定工作中的注意事项。灵活掌握该方法不仅对于平晶检定工作,而且在使用平晶测量量具或工件表面平面度时都非常重要。

平晶平面度综合测量方法探讨

在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求。本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式。