拉晶工艺中直拉硅单晶氧含量的优化研究

采用直拉法拉制硅单晶,在拉晶过程中,研究了不同型号机械泵、等径功率、坩埚转速及投料量等工艺参数对硅单晶氧含量的影响。结果显示:用抽气速率大的80泵,等径功率下降至58kW,坩埚转速降低至6.4rmp/min,投料量降低至68kg,均可以降低硅单晶氧含量,并在此基础上得出合理的拉晶生产工艺。