薄膜型ESR结构分析与优化

对ESR进行了理论分析,并进行计算机模拟分析。在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构。模拟结果表明,最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距。文章分析了两种新的面型结构,其中两端固支模型下拉电压降为原来的60%左右。四悬臂梁结构的下拉电压仅为10V左右。