用于微反应器塑件整平的等温热压工艺

以一种微流控微反应器塑件为对象,提出了用于微塑件整平的等温热压工艺,研究了等温热压工艺对平板微塑件的整平机理。建立了描述该工艺的弹塑性数学模型,计算分析了外加压力和温度对塑件表面形貌的影响。综合考虑塑件整平效果和微结构保形,开展等温热压整平工艺实验,分析了关键工艺参数对器件整平精度的影响。研究结果表明：与压力载荷相比,热载荷对不平度的改善效果更明显;由于塑件端部区域受力面积大,其两端变形量均大于中间反应腔的变形量。在相同压力条件下,70℃时平面度和不平度的变化率均为最高。通过工艺优化,微反应器塑件平面度提高到了10μm内,最大变化率可达72.7%;而不同区域的不平度变化率为3.50%~53.50%,微结构尺寸变化可控制在5μm以下。本文研究成果对提高平板微塑件平整精度有借鉴作用。