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飞秒激光加工中等离子体超快动力学过程观测及烧蚀机理研究
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作者 潘昌基 姜澜(指导) 孙靖雅(指导) 《金属加工(冷加工)》 2023年第12期I0027-I0027,共1页
飞秒激光加工技术作为一种重要的微纳制造手段,已经在攻克某些国家重大工程中的制造共性挑战提供了关键技术,是高端制造前沿之一。但是由于其超快、超强的特性,飞秒激光加工过程是一个非线性、非平衡、多尺度的复杂物理化学过程,与传统... 飞秒激光加工技术作为一种重要的微纳制造手段,已经在攻克某些国家重大工程中的制造共性挑战提供了关键技术,是高端制造前沿之一。但是由于其超快、超强的特性,飞秒激光加工过程是一个非线性、非平衡、多尺度的复杂物理化学过程,与传统激光加工过程有显著差别,仍需要深入探究。本论文针对飞秒激光加工中尚存在的难点问题,设计并搭建了超快时间分辨泵浦探测系统,对飞秒激光加工中的等离子体超快动力学过程进行深入研究。基于该系统,本论文测量了飞秒激光加工中的等离子体自由电子密度和自由电子弛豫时间. 展开更多
关键词 飞秒激光加工 物理化学过程 微纳制造 超快动力学 等离子体 高端制造 烧蚀机理 自由电子密度
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环境控制与等离子体技术融合对未来高精密抛光难加工材料所构成的挑战(英文)
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作者 土肥俊郎 會田英雄 +2 位作者 大西修 尹韶辉 任莹晖 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第6期637-649,F0003,共14页
以碳化硅、氮化镓和金刚石为代表的宽禁带半导体材料是典型的难加工材料。本研究中,设计2种基于化学机械抛光(CMP)的加工设备,以开发高效高质量加工此类晶体衬底的新技术,并研究讨论使用新设备时的加工机理和难加工衬底的加工特征。加... 以碳化硅、氮化镓和金刚石为代表的宽禁带半导体材料是典型的难加工材料。本研究中,设计2种基于化学机械抛光(CMP)的加工设备,以开发高效高质量加工此类晶体衬底的新技术,并研究讨论使用新设备时的加工机理和难加工衬底的加工特征。加工设备的原型机分别为封闭箱式(closed chamber-type)环境控制CMP设备和等离子体熔融(plasma fusion)CMP设备。在前者中引入光催化反应,并在高压氧气环境下增加紫外辐射,试图提高加工效率。在后者中预期实现常压等离子体化学蒸发加工(P-CVM)和CMP各自优势的协同效应,尤其适合高硬度、极稳定的金刚石衬底。在验证设备加工机理的过程中,随加工过程进行,在极限表面(extreme surface)上形成了如水合物膜或氧化物膜的反应产物。因此,引入紫外辐射的箱式CMP设备在高压氧气环境下效率极高;而对等离子熔融CMP设备,在氧气氛围下,同时开展P-CVM和CMP时可实现对金刚石晶片的高效加工。通过对加工机理进行研究,提出由伪自由基场(pseudo radical filed)/反应产物形成和新表面接触磁流变抛光这两步构成的“循环处理方法”,可实现对难加工材料的高效率加工。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 加工晶片 箱式设备 等离子体化学蒸发加工 等离子体熔融化学机械抛光 伪自由基场 加工机理
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第十五届国际等离子体化学会议简介
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作者 吴承康 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2001年第4期630-632,共3页
关键词 第十五届国际等离子体化学会议 低温等离子体 汽车工业应用 激光光源 环保技术 微机械加工
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低温等离子体降解果品加工废水中糖类物质的研究
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作者 徐文慧 周锦云 +3 位作者 蔡静 张加干 范铭 张俊 《现代食品科技》 EI CAS 北大核心 2019年第10期164-173,163,共11页
利用臭氧发生器与低温等离子体技术处理废水中的糖类物质,通过重铬酸钾法和苯酚-硫酸法检测12种糖类物质的化学需氧量CODcr(Chemical Oxygen Demand)值与含糖量,对比经低温等离子体不同时间处理后糖类物质的含糖量的改变与CODcr的降解效... 利用臭氧发生器与低温等离子体技术处理废水中的糖类物质,通过重铬酸钾法和苯酚-硫酸法检测12种糖类物质的化学需氧量CODcr(Chemical Oxygen Demand)值与含糖量,对比经低温等离子体不同时间处理后糖类物质的含糖量的改变与CODcr的降解效率,进一步分析低温等离子体技术处理果品加工废水的可行性。数据显示:糖类物质CODcr值与其质量浓度、摩尔浓度都有较好的线性关系,C、H、O原子个数与CODcr关系为:1 mmol(CH2O)CODcr值为2.49±0.25 mg/L。12种糖类物质经经臭氧发生器和低温等离子体不同处理时间后的糖含量和CODcr值都呈下降趋势。两种方式处理10~40 min时CODcr值下降趋势较大,在40 min后趋于平缓。经低温等离子体处理60 min后,CODcr值下降到初始溶液CODcr值的42%~49%、糖含量下降到初始溶液糖含量的44%~59%;经臭氧发生器处理60 min后,CODcr值下降到初始溶液CODcr值的45%-53%、糖含量下降到初始溶液糖含量的49%~65%。结果显示:经低温等离子体处理后CODcr的降解效果与糖含量的降低都优于臭氧发生器,说明低温等离子体对果品加工废水中糖类物质有降解作用,对水质有改善作用。 展开更多
关键词 臭氧发生器 低温等离子体 果品加工废水 糖类物质 化学需氧量(CODcr) 糖含量
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湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
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《武汉工程大学学报》 CAS 2008年第4期50-50,共1页
关键词 等离子体化学 重点实验室 新材料 湖北省 等离子体技术 表面改性技术 材料加工工程 材料制备
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应用等离子体技术处理有害废物
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作者 刘之景 《环境科学与管理》 CAS 1999年第1期47-48,共2页
本文介绍了有害废物处理的三种新方法,它们分別是等离子体加工法、电化学氧化法、热解吸附和气化法。
关键词 废物处理 等离子体加工 化学氧化
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电解放电复合加工技术现状与展望
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作者 赵永华 刘为东 +2 位作者 刘江文 卢家俊 邹治湘 《电加工与模具》 北大核心 2024年第1期1-18,共18页
电解放电复合加工是实现电加工技术创新和突破的重要途径,可通过耦合放电与电解能场,利用其时/空协同效应实现在可加工性、加工精度及表面质量等方面的提升,故在介绍电解放电复合加工技术概念和原理分类的基础上,着重概述该领域近十年... 电解放电复合加工是实现电加工技术创新和突破的重要途径,可通过耦合放电与电解能场,利用其时/空协同效应实现在可加工性、加工精度及表面质量等方面的提升,故在介绍电解放电复合加工技术概念和原理分类的基础上,着重概述该领域近十年来的关键性研究进展和新技术创新,对除电火花-电解组合加工和电弧复合加工之外的各类电解放电复合加工技术的未来发展方向进行了展望,指出该技术的规模化工程应用仍需在性能突破、精确建模、加工过程智能控制、复合加工装备等方面取得突破性进展。 展开更多
关键词 电解辅助电火花加工 电火花辅助电解加工 等离子体辅助电解加工 火花辅助化学雕刻 射流电化学放电加工 电解等离子体化学刻蚀
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乙酰丙酮在低温电热蒸发ICP-AES中的化学改进作用机理研究 被引量:1
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作者 吴英亮 胡斌 江祖成 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期50-52,共3页
The vaporization and transport modes of Be and Cr(Ⅲ) from the graphite tube were studied by using the low temperature vaporization technique combined with ICP-AES. The main factors of influencing the formation of Be ... The vaporization and transport modes of Be and Cr(Ⅲ) from the graphite tube were studied by using the low temperature vaporization technique combined with ICP-AES. The main factors of influencing the formation of Be and Cr(Ⅲ) acetylacetonates were investigated. It was found that the Be and {Cr(Ⅲ)} acetylacetonates were able to vaporize and introduce quantitatively into ICP with good thermal stability and volatility. The chelation reaction between the analyte and acetylacetone should be completed before the sample introduction to avoid the formation of refractory carbide and to eliminate the memory effect. 展开更多
关键词 乙酰丙酮 低温电热蒸发 ICP-AES 化学改进剂 作用机理 测定 人发 电感耦合等离子体-原子发射光谱法
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真空技术装备在化学加工工业中的应用 被引量:1
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作者 刘存玉 《化工设备与管道》 CAS 2005年第3期28-31,共4页
概述了真空技术在化学加工工业中的应用,并着重介绍了真空蒸馏蒸发设备和真空发生装置(主要是各类真空泵)
关键词 真空技术 化学加工工业 蒸发 真空泵 真空蒸馏工艺 降膜蒸发 分离过程
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加工羟基的等离子体化学反应过程
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作者 白希尧 周晓见 +1 位作者 白敏菂 杨波 《大连海事大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期56-58,62,共4页
采用了强电场 (E/n >4 0 0Td)电离辉光放电方法 ,在分子层次上加工成羟基 .论述了加工高浓度羟基(质量分数 >2 0 % )方法及其等离子体反应过程 .它必将成为一种有效治理赤潮、解决外来生物入侵船舶压载水危害等国际难题的方法 。
关键词 羟基 化学反应过程 强电场电离 等离子体 加工方法 水污染 水处理 羟基药剂
原文传递
波长连续可调激光及其在化学分析应用中的前景
11
作者 周勤 《化学世界》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期264-267,246,共5页
在现代分析化学中 ,激光在分析测试仪器中的应用已起到了十分重要的作用。但激光在原子分析光谱仪中的应用才刚起步。与其他光分析测试仪相比 ,以光参量设备为基础的激光器具有更宽的波长范围和更容易的波长连续可调性 ,从而显示了巨大... 在现代分析化学中 ,激光在分析测试仪器中的应用已起到了十分重要的作用。但激光在原子分析光谱仪中的应用才刚起步。与其他光分析测试仪相比 ,以光参量设备为基础的激光器具有更宽的波长范围和更容易的波长连续可调性 ,从而显示了巨大的应用潜力。简要介绍了应用于原子分析光谱中的激光技术的一些现状 ,并着重探讨了 展开更多
关键词 波长连续可调激光 化学分析 应用 激光激发原子荧光光谱 激光蒸发气化 激光等离子体 原子分析光谱
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PIA-EB-Hf法制备的单层HfO_2激光薄膜残余应力及化学计量比的调控 被引量:1
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作者 付朝丽 杨勇 +2 位作者 马云峰 黄政仁 焦正 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期515-523,共9页
Hf O_2作为最有前景的抗激光薄膜材料之一,最佳的制备方法是利用等离子体辅助电子束蒸发金属Hf并充氧进行反应沉积即PIA-EB-Hf法,而化学计量比失配导致的强吸收和高残余应力造成的力损伤成为其主要的激光损伤机制。采用正交优化手段,探... Hf O_2作为最有前景的抗激光薄膜材料之一,最佳的制备方法是利用等离子体辅助电子束蒸发金属Hf并充氧进行反应沉积即PIA-EB-Hf法,而化学计量比失配导致的强吸收和高残余应力造成的力损伤成为其主要的激光损伤机制。采用正交优化手段,探究了沉积速率、APS离子源偏压和放电电流、沉积温度、以及充氧量和充氧位置对薄膜残余应力和O/Hf配比的影响,并针对优化薄膜进行了激光损伤性能研究。研究表明速率太大导致膜成分不均匀;过高的离子源偏压使O/Hf配比反升,但薄膜向m(-1 1 1)面取向显著,残余应力很大,且容易引入杂质原子Ar,造成强吸收;沉积温度对薄膜性能的影响主要体现在促进粒子反应、改变结晶状态和改善薄膜均匀性等,不同范围内发挥的作用不同。解决离子源的污染问题,以及获得结构疏松均匀和平整的非晶膜层是进一步提高激光损伤阈值的关键。 展开更多
关键词 氧化铪 等离子体辅助电子束蒸发 激光损伤 残余应力 化学计量比
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新型纳米硅/碳复合材料的制备及其电化学性能 被引量:1
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作者 耿志鹏 赵芳霞 +2 位作者 王鹏鹏 杨博睿 张振忠 《有色金属工程》 CAS 北大核心 2019年第12期35-40,共6页
为缓解纳米硅粉的体积膨胀,并有效提高其电导率,采用直流电弧等离子蒸发法和液相分散制备高纯、高分散性纳米硅粉,并以蔗糖为碳源,再与膨胀石墨复合,制备出一种新型纳米硅碳复合负极材料。研究结果表明:纯纳米硅在0.1C的倍率下首次放电... 为缓解纳米硅粉的体积膨胀,并有效提高其电导率,采用直流电弧等离子蒸发法和液相分散制备高纯、高分散性纳米硅粉,并以蔗糖为碳源,再与膨胀石墨复合,制备出一种新型纳米硅碳复合负极材料。研究结果表明:纯纳米硅在0.1C的倍率下首次放电比容量达到2712mAh/g,但首次库伦效率仅为33.81%;所制备的纳米硅碳复合材料在0.1C的倍率下,首次充、放电容量分别为615mAh/g和917mAh/g,50个循环以后可逆比容量保持在495mAh/g,循环性能和倍率性能大大改善。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体蒸发 纳米硅粉 蔗糖 膨胀石墨 化学性能
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第17届全国特种加工学术会议第一轮通知(征文通知)
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《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第14期1682-1682,共1页
将于2017年11月在广州举行。此次会议由中国机械工程学会特种加工分会和广东工业大学主办,围绕"特种加工技术智能化与精密化"的主题,会议将邀请国内外相关领域有影响力的专家学者做大会主旨报告,并设电火花加工、电化学加工、激光加工、
关键词 特种加工 化学加工 激光加工 学术会议 主旨报告 精密化 广东工业大学 超声加工 征文截止日期 等离子体加工
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光学工艺 微细加工技术与设备
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《中国光学与应用光学》 2007年第5期94-95,共2页
关键词 原子光刻 不平度 补偿量 光学工艺 电子枪 微细加工技术 集成电路工艺 栅格结构 数据结构 YBCO 化学刻蚀 激光投影 光刻机 调平系统 工件台 成像装置 旋转补偿 方镜 调焦 光电子·激光 高温超导薄膜 等离子体 液相腐蚀 测量结果
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单源热蒸发制备阴离子比例可控的Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜用于高性能太阳能电池
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作者 高金祥 车波 +6 位作者 蔡慧玲 肖鹏 张立建 蔡志远 朱长飞 唐荣风 陈涛 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第9期3415-3423,共9页
硒化锑(Sb_(2)(S,Se)_(3))因其高化学稳定性、绝佳光电特性和低成本等优势而成为一种有前途的光伏材料.在新兴的太阳能领域中,开发合适的材料加工方法控制元素比例,从而达到钝化Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜的深能级缺陷的目的,是基本需求也是... 硒化锑(Sb_(2)(S,Se)_(3))因其高化学稳定性、绝佳光电特性和低成本等优势而成为一种有前途的光伏材料.在新兴的太阳能领域中,开发合适的材料加工方法控制元素比例,从而达到钝化Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜的深能级缺陷的目的,是基本需求也是挑战.在此,我们开发了一种阴离子元素比例控制方法,通过烧结Sb,S和Se元素前体来调整Sb_(2)(S,Se)_(3)合金化合物中的阴离子摩尔比.我们可以相当精确地估计出,通过单源热蒸发过程蒸发预烧结Sb_(2)(S,Se)_(3)合金化合物而制备的单相Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜中的阴离子摩尔比.我们发现,获得的Sb_(2)(S,Se)_(3)薄膜可以基本保持前体合金化合物的阴离子元素比例,这为控制薄膜的组成提供了一个高效的方法.我们还证明了深层缺陷和定向晶体生长对S/Se原子比的依赖性,以及如何利用这种可调性来改善与光伏能源转换相关的载流子传输.通过引入低成本的CuPc掺杂的P3HT作为空穴传输层,实现了高效的Sb_(2)(S,Se)_(3)太阳能电池,功率转换效率达到8.25%.我们的研究提出了一种新的方法来制造金属硫化物半导体薄膜,并实现了Sb_(2)(S,Se)_(3)太阳能电池的性能改进. 展开更多
关键词 太阳能电池 功率转换效率 光伏材料 蒸发 化学稳定性 半导体薄膜 金属硫化物 材料加工
原文传递
金纳米颗粒、纳米片的制备及电镜观察 被引量:1
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作者 储昭琴 李村成 孔明光 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期253-253,共1页
关键词 金纳米颗粒 电镜观察 制备 表面等离子体共振吸收 惰性气体蒸发 金属有机化合物 化学气相沉积法 催化活性 金钠米粒子
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球形超细锌粉用于碱锰电池理化特性研究
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作者 王鹏 张振忠 +2 位作者 赵芳霞 陈银 林峰 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期44-46,共3页
针对直流电弧蒸发法制备的球形亚微米级及纳米级超细锌粉作为碱锰电池负极活性物质的应用问题,研究了不同粒径的超细锌粉形貌、成分、松装密度、电解液吸收量和析氢特性的物理化学特性。结果表明:超细锌粉微观上为球状形貌,颗粒分散均匀... 针对直流电弧蒸发法制备的球形亚微米级及纳米级超细锌粉作为碱锰电池负极活性物质的应用问题,研究了不同粒径的超细锌粉形貌、成分、松装密度、电解液吸收量和析氢特性的物理化学特性。结果表明:超细锌粉微观上为球状形貌,颗粒分散均匀,纯度高,粉体松装密度较微米级粉体大幅度降低,平均粒径为0.360μm的超细锌粉吸液性能最佳,粒径较粗或较细均对吸液性能不利;但超细锌粉在电解液中的自腐蚀现象严重,尤其纳米锌粉,随着平均粒径的降低,自腐蚀呈现减缓趋势,需加强缓蚀处理研究。综合理化特性结果,推荐平均粒径为0.360μm的超细锌粉作为碱锰电池的负极活性物质。 展开更多
关键词 直流电弧等离子体蒸发 超细锌粉 碱锰电池 物理化学特性
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PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析 被引量:5
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作者 刘大震 闫卫平 +1 位作者 郭吉洪 杜立群 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期321-323,327,共4页
在PCR生物芯片的制作过程中 ,微反应腔制作是关键部分之一。本文利用硅基微机械加工工艺 ,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作。通过扫描电镜分析 ,证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能... 在PCR生物芯片的制作过程中 ,微反应腔制作是关键部分之一。本文利用硅基微机械加工工艺 ,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作。通过扫描电镜分析 ,证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体。本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热特性分析。 展开更多
关键词 PCR 生物芯片 微反应腔 热分析 微机械加工工艺 湿法化学腐蚀 干法等离子体刻蚀
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镀膜技术及设备
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《中国光学》 EI CAS 1996年第6期42-44,共3页
O484.1 96063831微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究=Diamonddeposition using microwave plasmaassisted chemical vapor deposition[刊,中]/王建军,吕反修,于文秀,佟玉梅(北京科技大学.北京(100083)),邬钦崇,王守国(中科院等离... O484.1 96063831微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究=Diamonddeposition using microwave plasmaassisted chemical vapor deposition[刊,中]/王建军,吕反修,于文秀,佟玉梅(北京科技大学.北京(100083)),邬钦崇,王守国(中科院等离子体物理研究所.安徽,合肥(230031))//人工晶体学报.- 1996,25(2).-137-142研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比,该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较高的微波功率。研究了沉积气压、气体和流量甲烷浓度对金刚石薄膜形貌和生长速度的影响。发现生长速度随着沉积气压和甲烷浓度的增大而增大。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积 金刚石成核 人工晶体 微细加工技术 沉积气压 等离子体物理研究所 甲烷浓度 生长速度 沉积装置
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