1
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等离子体增强原子层沉积AlN外延单晶GaN研究 |
卢灏
许晟瑞
黄永
陈兴
徐爽
刘旭
王心颢
高源
张雅超
段小玲
张进成
郝跃
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《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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2
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等离子体增强原子层沉积二氧化硅对多晶硅的损伤机理及防范工艺研究 |
何亚东
袁刚
李拓
周毅
程晓敏
霍宗亮
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《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2024 |
0 |
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3
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等离子体增强原子层沉积系统及其应用研究 |
万军
饶志鹏
方攸同
陈波
李超波
夏洋
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2014 |
4
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4
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等离子体增强原子层沉积增透阻隔膜的研究 |
林晶
于贵文
孙智慧
张莉
巩雪
钱锋
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《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2021 |
3
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5
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等离子体增强原子层沉积技术制备碳化钴薄膜 |
樊启鹏
胡玉莲
刘博文
田旭
江德荣
刘忠伟
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《真空》
CAS
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2019 |
4
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6
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等离子体增强原子层沉积Al_2O_3钝化多晶黑硅的研究 |
蒋晔
沈鸿烈
李杰
岳之浩
张磊
舒栩
宋扬
徐浩
邹健
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2015 |
0 |
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7
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等离子体增强原子层沉积原理与应用 |
曹燕强
李爱东
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2012 |
7
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8
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等离子体增强原子层沉积技术制备过渡金属薄膜的研究进展 |
田旭
张翔宇
李杨
刘博文
杨丽珍
刘忠伟
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《真空与低温》
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2021 |
3
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9
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等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的研究 |
桑利军
赵桥桥
胡朝丽
李兴存
雷雯雯
陈强
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《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
5
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10
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等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜 |
樊启鹏
胡玉莲
桑利军
王卉
刘忠伟
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2018 |
0 |
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11
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氧等离子体辅助原子层沉积氧化铝的研究 |
方明
桑立军
杨丽珍
陈强
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《真空》
CAS
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2016 |
0 |
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12
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等离子体辅助原子层沉积技术包覆硅基氮化物荧光粉的结果性能研究 |
张子欣
刘忠伟
杨丽珍
陈强
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《真空》
CAS
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2019 |
0 |
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13
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AlGaN合金的原子层沉积及其在量子点敏化太阳能电池的应用 |
刘恒
李晔
杜梦超
仇鹏
何荧峰
宋祎萌
卫会云
朱晓丽
田丰
彭铭曾
郑新和
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2023 |
2
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14
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原子层沉积技术及其创新运用 |
施云波
于明岩
饶志鹏
赵士瑞
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《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
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2014 |
2
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15
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蝶翅构型TiO2/等离子体纳米金复合体系全光谱二氧化碳光还原特性研究 |
严润羽
周涵
范同祥
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《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2016 |
2
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16
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NH_(3)和N_(2)混合等离子体预处理对锗MOS器件性能的影响 |
乌李瑛
柏荣旭
瞿敏妮
付学成
田苗
马玲
王英
程秀兰
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《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2021 |
0 |
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17
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原子层沉积铜薄膜研究进展 |
郭群
国政
桑利军
王安玲
田旭
杨丽珍
刘忠伟
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2016 |
1
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18
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原子层沉积氮化钽薄膜的研究进展 |
乌李瑛
瞿敏妮
付学成
田苗
马玲
王英
程秀兰
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《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2020 |
1
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19
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原子层沉积技术发展概况 |
赵曼曼
陈强
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《北京印刷学院学报》
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2016 |
6
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20
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原子层沉积技术发展概况 |
苗虎
李刘合
旷小聪
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《真空》
CAS
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2018 |
5
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