等离子体聚合成膜中的活性粒子模拟分析

针对等离子体聚合成膜实验中的活性粒子的能量及空间分布问题 ,运用电磁场理论和 Monte Carlo方法模拟分析氢、氧、氮直流辉光放电等离子体中的活性粒子的运动 ,得出其能量分布图和空间密度分布图 ,并与离子活性能量范围相比较 ,从而得出结论 :在氢、氧等离子体中有足够多的活性离子可以参与和单体分子的物理化学反应 ,成膜较快；在氮等离子体中 ,达到活性粒子能量范围的离子相当少 ,成膜较慢 .

磁过滤真空弧等离子体钛沉积膜改善H13钢腐蚀机理的研究

利用磁过滤真空弧等离子体沉积成膜系统 ,在H13钢基体上沉积一层 36 0nm的钛膜。透射电镜 (TEM)分析结果表明 ,沉积膜膜层的微观结构呈晶须状。在 pH =5.6的NaAc/HAc缓冲液中阳极极化扫描曲线测量表明 ,沉积膜样品的腐蚀电流密度峰值较H13钢降低 1— 2个数量级 ,抗腐蚀性能大幅度提高 ,离子注入进一步降低了沉积膜样品的峰值腐蚀电流密度 ,提高了沉积膜样品的抗腐蚀性。SEM对腐蚀样品的表面形貌进行了分析 ,并对沉积膜样品的抗腐蚀机理进行了研究。