强流中子管微波离子源不同等离子体离子腔的对比研究

微波耦合效率 (Pi-Pr) /Pi 是微波离子源的重要参数 ,它与磁场强度和分布关系密切 .通过对比实验研究了不同等离子体离子腔尺寸、不同引入窗厚度时对微波耦合效率的影响 ,当离子腔尺寸为 1 0 0mm ,窗厚度为 3 0mm时 ,耦合效率为 1 0 0 % (磁场分布在最佳模式 ) .此外还研究了耦合效率与真空度的关系 ,通过二极多孔引出电极引出系统引出离子 ,其引出电压为 1 8kV ,引出束流为 3 0mA .