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题名光刻探头的共振压力显微系统的研究
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作者
任韧
徐进
刘雨君
刘慧玲
任大男
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机构
西安交通大学光信息科学系
西安交通大学教育部非平衡态与量子调控重点实验室
University of Texas at Austin
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出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期249-252,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(10775111)
国家教育部非平衡态与量子调控重点实验室项目
西安交通大学自然基金项目
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文摘
以磁共振压力显微和半导体核子自旋态研究为目的,采用电子束和等离子体刻印方法制备硅振荡器,脉冲调制序列控制磁共振条件频率和旋转框架翻转,依据样品的自旋-晶格弛豫时间和自旋-自旋弛豫时间,获得了共振显微压力,测试了压力显微的灵敏度。结果表明,光刻的探头具有高Q值和软悬臂低倔强系数K,磁共振压力通过扫描片段和激光光纤干涉得到了极其微小的压力。光刻探头的共振压力显微具有高空间分辨率,兼具核磁共振成像(MRI)和原子压力显微技术(AFM)优点,是一种重要的核自旋探测技术和三维原子分辨率成像的有力方法。
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关键词
半导体光刻
共振压力显微
电子束刻印
等离子刻印
空间分辨率
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Keywords
semiconductor photo-etching
resonance force microscopy
EBL fabric
RIE
spatial resolution
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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