EtchTemp Sen sorWafer^TM是KLA-Tencor的 SensArray业
务部推出的下一代现场等离子刻蚀晶圆温度测量产品,它能抓住生产晶圆工艺环境的效用,并提供独一无二的全新能力,可以对65纳米及以下节点的高功率、高频率刻蚀配方扩散进行良好...EtchTemp Sen sorWafer^TM是KLA-Tencor的 SensArray业
务部推出的下一代现场等离子刻蚀晶圆温度测量产品,它能抓住生产晶圆工艺环境的效用,并提供独一无二的全新能力,可以对65纳米及以下节点的高功率、高频率刻蚀配方扩散进行良好的特征描述。主要增强的功能包括:高达7千瓦的总射频(RF)功率,且在任何反应器中都可以正常发挥功能;展开更多
文摘EtchTemp Sen sorWafer^TM是KLA-Tencor的 SensArray业
务部推出的下一代现场等离子刻蚀晶圆温度测量产品,它能抓住生产晶圆工艺环境的效用,并提供独一无二的全新能力,可以对65纳米及以下节点的高功率、高频率刻蚀配方扩散进行良好的特征描述。主要增强的功能包括:高达7千瓦的总射频(RF)功率,且在任何反应器中都可以正常发挥功能;