超锐截止生物医学滤光片的研制(特邀)

高端荧光、拉曼等生物医学检测需要超高透射、超锐截止滤光片,包括带通、单侧截止、多通带、陷波及分色等多种典型光谱类型。本文简要介绍了五种典型光谱滤光片的膜系设计方法,并以230层双侧锐截止带通典型膜系为代表,详细介绍了超多层薄膜的等离子反应溅射镀制工艺,多监控片膜厚控制及膜厚误差模拟仿真技术,超锐截止光谱表征技术及检测方法。最后给出研制的五种典型锐截止生物医学滤光片镀制结果(部分结果含增透):单面镀膜双侧锐截止带通滤光片的透射率大于95%,截止陡度优于1%;单面镀膜单侧锐截止滤光片峰值透射率大于95%,截止陡度优于0.7%;双面镀膜三通带锐截止滤光片平均透射率大于95%,截止陡度优于1%;陷波滤光片截止深度优于OD6,通带透射率大于90%;分色镜(45°入射)陡度优于1%,平均透射率大于95%。

光学直接监控技术在镀膜中的应用(英文)

展示真实的工艺结论,介绍在基片本身或监控片上进行光学直接监控的方法应用于大面积(最大基片盘直径1400 mm)镀膜的成功经验。直接监控技术可以最快速的再现高难度的设计要求,保证大面积,高精度镀膜设备上的高成品率。文中列举的各类多层膜的实验结果清楚地证明了这种强大的监控手段的应用潜力。可使用直接监控方式镀膜的膜系包括截至滤光片,偏振膜,分光膜以及多腔带通滤光片。所有这些膜系都是在PIAD(等离子辅助沉积)和PARMS(等离子体辅助反应磁控溅射)的方式下完成的。实验的重复性和均匀性体现了直接监控的优势。在塑料基底上应用等离子体辅助工艺的关键在于调整离子源或等离子源本身。他们改变热度和等离子轰击的能力通常是工艺的关键因素,从而使工艺更适合于象塑料这样对温度和等离子轰击敏感的基材。