大直径金刚石膜等离子淀积炉的方案设计

金刚石薄膜由于其极高的硬度和化学稳定性 ,并且透红外光特性和电阻率高的特性 ,广泛应用于机械、电子、光学、医学等领域。对采用氩氢等离子体电弧 (即上电极 )与碳氢化物在水冷成膜台 (即下电极 )上淀积金刚石膜的结构设计方案作较详尽的探讨 ,以物元分析法设计出较合理的传动方案 。