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等离子过程引起的Si-SiO_2结构损伤评估 被引量:1
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作者 马宏 涂继云 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期42-45,50,共5页
本文利用C-V测试的方法,研究了MOS工艺中等离子过程对不同栅材料的Si-SiO_2结构的影响,探讨了等离子损伤的形成机理,并就不同的退火条件进行评估。
关键词 等离子过程 SI-SIO2 结构损伤
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等离子体过程结合化学吸收脱除烟气中的NO_x 被引量:8
2
作者 林赫 高翔 +2 位作者 骆仲泱 倪明江 岑可法 《热力发电》 CAS 北大核心 2002年第4期24-28,共5页
研究用等离子体过程诱导H2 O -O2 自由基簇射技术 ,结合化学吸收脱除烟气中NOx。研究表明 :通过调节喷嘴电极氧气流量 ,可得到稳定的流光电晕 ;氧气中水蒸汽对电晕放电的V -I特性有影响 ;在反应器内同时有HNO2 和HNO3生成 ,NOx 脱除率可... 研究用等离子体过程诱导H2 O -O2 自由基簇射技术 ,结合化学吸收脱除烟气中NOx。研究表明 :通过调节喷嘴电极氧气流量 ,可得到稳定的流光电晕 ;氧气中水蒸汽对电晕放电的V -I特性有影响 ;在反应器内同时有HNO2 和HNO3生成 ,NOx 脱除率可达 70 %以上。NaOH溶液对NO吸收率较低 ,而对NO2 的吸收率很高 ;经NaOH吸收液吸收后总NOx 脱除率最高可达 90 %。 展开更多
关键词 等离子过程 化学吸收 烟气处理 大气污染 氮氧化物 自由基 反应器
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过程氧化对等离子喷涂Mo涂层耐磨性能的影响 被引量:3
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作者 陈志坤 张忠诚 +4 位作者 朱晖朝 黄健 康忠明 鲍雪球 黄科里 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第24期95-97,105,共4页
利用GTV F6等离子喷枪制备Mo涂层。用SEM观察Mo涂层形貌,用XRD分析喷涂后Mo涂层的物相,用氧氮测定仪测定涂层氧含量,用干摩擦方法测定氧化物对涂层耐磨性能的影响,测定浸油环境下涂层摩擦系数。结果表明,等离子喷涂Mo涂层呈明显的层状组... 利用GTV F6等离子喷枪制备Mo涂层。用SEM观察Mo涂层形貌,用XRD分析喷涂后Mo涂层的物相,用氧氮测定仪测定涂层氧含量,用干摩擦方法测定氧化物对涂层耐磨性能的影响,测定浸油环境下涂层摩擦系数。结果表明,等离子喷涂Mo涂层呈明显的层状组织,且伴有一定程度的过程氧化。过程氧化产生的Mo的氧化物弥散分布在涂层中,能够起到增大显微硬度、降低干摩擦磨损失重的作用。Mo涂层中气孔率越高,对浸油环境下的摩擦系数的影响越大。气孔率高的Mo涂层摩擦系数较小,从而减缓涂层的磨损。 展开更多
关键词 Mo涂层 等离子喷涂过程氧化耐磨性能
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三电极气体火花开关触发过程中的等离子体行为特性 被引量:11
4
作者 徐翱 杨林 +3 位作者 钟伟 刘云龙 尚绍环 金大志 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期1922-1929,共8页
三电极气体火花开关放电导通时的触发过程对其性能有着重要影响,而实验中发现某些三电极气体火花开关在触发过程中可能存在触发极与阴极和阳极几乎同时导通的问题,为了解释这种现象,利用PIC-MCC(网格粒子法耦合蒙特卡罗碰撞)程序建立... 三电极气体火花开关放电导通时的触发过程对其性能有着重要影响,而实验中发现某些三电极气体火花开关在触发过程中可能存在触发极与阴极和阳极几乎同时导通的问题,为了解释这种现象,利用PIC-MCC(网格粒子法耦合蒙特卡罗碰撞)程序建立了对应的三电极气体火花开关触发过程仿真模型,获得了电子、离子在触发过程中的时空分布演化特性及电场分布特性,阐明了触发过程中触发极与阴极、触发极与阳极形成等离子体通道的物理机理,分析了电场分布和绝缘体表面电荷累积效应等对触发过程中等离子体通道形成的影响,揭示了绝缘体表面二次电子发射等是导致触发极与阴极、触发极与阳极几乎同时形成等离子体通道的关键因素。这些都为进一步深入研究三电极气体火花开关,提高其工作性能奠定了坚实的基础。 展开更多
关键词 气体火花开关 触发过程:等离子 网格粒子法耦合蒙特卡罗碰撞 时空分布
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等离子刻蚀过程中的微弱信号提取与终点监测
5
作者 米宝永 宋克非 《数据采集与处理》 CSCD 1998年第a10期55-58,共4页
在用等离子发射光谱技术监测大规模集成电路等离子刻蚀过程及科点时,为有效地抑制本底光对监测结果的影响,作者采用了双波长法和具有采样跟踪滤波器的锁相技术,从强光背景中提取了反映等离子刻蚀过程的微弱等离子谱信号。
关键词 集成电路 LSI 等离子刻蚀过程 微弱信号 监测
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激光烧蚀固体碳氢材料的离子组分分离研究
6
作者 陆云杰 陶弢 +1 位作者 赵斌 郑坚 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期277-286,共10页
本文从双离子组分等离子体的Landau-Fokker-Planck方程出发,通过Chapman-Enskog方法约化得到离子输运方程,求得双离子组分等离子体的离子输运系数,给出了计及离子扩散的完备离子流体方程;再结合一维辐射流体力学程序Multi-1D模拟得到的... 本文从双离子组分等离子体的Landau-Fokker-Planck方程出发,通过Chapman-Enskog方法约化得到离子输运方程,求得双离子组分等离子体的离子输运系数,给出了计及离子扩散的完备离子流体方程;再结合一维辐射流体力学程序Multi-1D模拟得到的烧蚀层的宏观状态,研究了激光烧蚀固体碳氢材料时的组分分离现象.计算结果显示,离子组分分离对等离子体流体演化的影响小,基本可以忽略;但对于敏感依赖于离子组分的其他物理过程,如汤姆孙散射,离子组分分离的影响显著,这意味着研究激光等离子体相互作用时,离子组分分离必须予以考虑. 展开更多
关键词 等离子体输运过程 组分分离 激光烧蚀 辐射流体模拟
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激光等离子体形成过程的数值模拟 被引量:2
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作者 肖刚 张建泉 罗吉庭 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第11期1017-1022,共6页
采用一维单流体双温度辐射流体动力学模型.通过数值模拟方法.研究了XeCl准分子激光辐照金属Al靶时.气化等离子体的形成和演化过程.
关键词 准分子激光 等离子过程 激光技术 靶材
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真空环境中等离子体喷流对反射电磁波衰减的实验研究 被引量:4
8
作者 朱冰 杨涓 +2 位作者 黄雪刚 毛根旺 刘俊平 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期2352-2356,共5页
在真空环境中,利用传输线测量装置,开展微波等离子体喷流对反射电磁波衰减的实验研究.实验结果表明,采用传输线测量方法能够有效地获得等离子体对反射电磁波的衰减;在5GHz附近,以氩气为工质,流量为52·5mg/s时,52W微波功率在真空环... 在真空环境中,利用传输线测量装置,开展微波等离子体喷流对反射电磁波衰减的实验研究.实验结果表明,采用传输线测量方法能够有效地获得等离子体对反射电磁波的衰减;在5GHz附近,以氩气为工质,流量为52·5mg/s时,52W微波功率在真空环境中产生的等离子体喷流能对反射电磁波产生最大的衰减;增加微波功率、降低真空环境压强可以提高等离子体对反射电磁波的衰减;要使等离子体能够对反射电磁波产生最大的衰减,必须选取合适的发生器参数. 展开更多
关键词 电磁波在等离子体中的传输 等离子体基本过程 电磁波
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真空中微波等离子体喷流电子数密度分布规律实验研究 被引量:3
9
作者 杨涓 刘文一 +1 位作者 朱国强 毛根旺 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期366-370,共5页
为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度,利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出... 为了准确诊断真空中微波等离子体喷流的电子数密度,利用统一的发射和单郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线.根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明,当真空环境压强为2—6Pa、等离子体发生器以60W以下的微波功率击穿流量范围是42—106mg/s的氩气时,所产生的微波等离子体喷流中电子数密度分布在1×1016—7·2×1016/m3范围内. 展开更多
关键词 等离子体诊断技术 等离子体基本过程 等离子体基本特性
原文传递
平均原子模型中Au元素自电离速率的计算
10
作者 李传莹 吴泽清 +1 位作者 颜君 李月明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2191-2195,共5页
为了得到用于平均原子模型中的自电离速率,采用准相对论组态平均的方法系统计算了Au的不同电离度、不同自电离态的自电离速率,计算时使用的波函数由Cowan程序得到;通过组态到组态的自电离速率得到了nl层次的单电子自电离速率(初态平均... 为了得到用于平均原子模型中的自电离速率,采用准相对论组态平均的方法系统计算了Au的不同电离度、不同自电离态的自电离速率,计算时使用的波函数由Cowan程序得到;通过组态到组态的自电离速率得到了nl层次的单电子自电离速率(初态平均、末态平均);在此基础上计算出了n层次的单电子自电离速率,这些数据可用于平均原子模型中自电离及其逆过程的计算。为了验证计算出的数据是否可靠,用细致能级层次的程序计算了部分数据点。通过比较和分析认为,除了少量高l的数据点计算得不够准确之外,当前的数据较为可靠,并用其它程序的计算结果对不准确的数据进行了替换。 展开更多
关键词 平均原子模型 自电离速率 准相对论组态平均 等离子体中的原子过程
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脉冲星的射电发射(英文)
11
作者 罗庆环 《云南天文台台刊》 CSCD 北大核心 2003年第1期6-11,共6页
脉冲星的射电辐射与其他天体物理辐射源有很大的不同 ,因为它们有着极高的亮温度和高度的线或圆偏振。极高的亮温度意味着起作用的发射机制一定是相干的。至今尚无对这种辐射普遍接受的模型。本文讨论了关于脉冲星的射电辐射产生和传播... 脉冲星的射电辐射与其他天体物理辐射源有很大的不同 ,因为它们有着极高的亮温度和高度的线或圆偏振。极高的亮温度意味着起作用的发射机制一定是相干的。至今尚无对这种辐射普遍接受的模型。本文讨论了关于脉冲星的射电辐射产生和传播研究中的新进展。 展开更多
关键词 射电发射 等离子过程 非热辐射 脉冲星 亮温度
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Low Temperature Plasma CVD Grown Graphene by Microwave Surface-Wave Plasma CVD Using Camphor Precursor 被引量:1
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作者 Hideo Uchida Hare Ram Aryal +1 位作者 Sudip Adhikari Masayoshi Umeno 《Journal of Physical Science and Application》 2016年第2期34-38,共5页
Hydrocarbon precursor such as methane has been widely used to grow graphene films and the methods of growing quality graphene films are dominated by thermal CVD (chemical vapor deposition) system. Graphene films gro... Hydrocarbon precursor such as methane has been widely used to grow graphene films and the methods of growing quality graphene films are dominated by thermal CVD (chemical vapor deposition) system. Graphene films grown by plasma process are generally highly defective which in turns degrade the quality of the films. Here, using a green precursor, camphor we demonstrate a simple and economical method to get high-quality graphene film on copper substrate by micro wave surface-wave plasma CVD at relatively low temperature 550℃. Graphene film grown using camphor shows superior quality than that of the film grown using methane. Results revealed that camphor precursor is a good alternative to hydrocarbon precursors for graphene research. 展开更多
关键词 CAMPHOR plasma CVD quality graphene plasma induced defects.
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Investigation of Improved Signal Process and Control Circuit for Color-PDP
13
作者 邱崧 仇润鹤 +2 位作者 胡文静 张天桥 李煌 《Journal of Donghua University(English Edition)》 EI CAS 2007年第1期94-98,共5页
We present an alternative current-plasma display panel (AC-PDP) signal process and control circuit that fulfills the signal process and transform function. We proposed a novel driving logical waveform generator based ... We present an alternative current-plasma display panel (AC-PDP) signal process and control circuit that fulfills the signal process and transform function. We proposed a novel driving logical waveform generator based on the SCI interface, which can real-time adjust the parameters to optimize performance of the PDP and facilitate the research and test. The use of nesting state-machine and parameterized design not only improves the resource utilization, but also makes it efficient and readable. The design has been written in synthesizable Verilog and fully verified using Xilinx FPGA device and applied in 42-in AC-PDP module. 展开更多
关键词 AC-PDP VERILOG SCI interface FPGA nesting State-Machine.
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On the Production of OH Radical through Plasma Electrolysis Mechanism for the Processing of Ammonia Waste Water
14
作者 Setijo Bismo Knsna Irawan Eva Fathul Karamah Nelson Saksono 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2013年第1期6-12,共7页
Plasma produced many active species such as OH radical and H radical. As well known, OH radical plays an important role in degrading complex pollutants. This study aims to measure the production of OH radicals and eva... Plasma produced many active species such as OH radical and H radical. As well known, OH radical plays an important role in degrading complex pollutants. This study aims to measure the production of OH radicals and evaluate important parameters that have influent in degradation process of waste water contains ammonia in circulated system and analyze the level of energy consumptions are resulted by this research. The production of OH radical was detected by formation of hydrogen peroxide which was resulted by recombination reaction between OH radicals during plasma electrolysis process. From the measured concentration of hydrogen peroxide, obtained concentration of OH radical is 2,020 ppm. The depth of anode, applied voltage and ammonia initial concentration have affected ammonia degradation percentage and energy consumption level. The highest result for ammonia degradation percentage is 63.2% which gets from applied voltage 700 V, with depth of anode 1 cm, initial concentration of ammonia 100 ppm, and lowest energy consumption of 110 KJ/mmol. 展开更多
关键词 Plasma electrolysis OH radical ammonia.
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金属纳米粉体材料应用广阔
15
《河南纺织科技》 2005年第2期27-27,共1页
随着科学技术进步,粉体工业发展进入到纳米级领域。最近兰州大学利用。等离子体高温热源激发高能粒子的化学反应,与骤冷的应用组合成一个制备金属纳米粉体材料的等离子体过程”的原理,研制出了适用于工业化生产的。约束弧等离子体制... 随着科学技术进步,粉体工业发展进入到纳米级领域。最近兰州大学利用。等离子体高温热源激发高能粒子的化学反应,与骤冷的应用组合成一个制备金属纳米粉体材料的等离子体过程”的原理,研制出了适用于工业化生产的。约束弧等离子体制备金属纳米粉体装置”。“约束弧等离子体制备金属纳米粉体装置”就是把高频和直流放电有机结合起来,实现等离子体大功率稳定放电, 展开更多
关键词 金属 材料应用 科学技术进步 等离子过程 纳米粉体材料 工业化生产 工业发展 兰州大学 化学反应 高能粒子 高温热源 有机结合 直流放电 功率稳定 纳米级 制备 组合成 装置
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Mechanism Research of Hg^0 Oxidation by Pulse Corona Induced Plasma Chemical Process
16
作者 Hao Shuoshuo Chen Yang +3 位作者 Fan Yanxiang Yin Lianqing Zhang Liju Feng Qinzhong 《Journal of Environmental Science and Engineering(B)》 2016年第1期1-10,共10页
The oxidation of Hg^0 by Pulse Corona Induced Plasma Chemical Process (PPCP) was investigated through changing discharge voltage, pulse frequency and gas compositions. Experimental results indicate that active radic... The oxidation of Hg^0 by Pulse Corona Induced Plasma Chemical Process (PPCP) was investigated through changing discharge voltage, pulse frequency and gas compositions. Experimental results indicate that active radicals including O, O3 and OH can contribute to the oxidation of elemental mercury. 10 kV is the onset voltage, and the higher voltage the better removal efficiency. While with the increase of pulse frequency, the Hg^0 concentration falls rapidly at first but then rises rapidly. The best oxidation condition is at 12 kV and 600-800 PPS. Adding O2 can significantly promote oxidation. With NO and SO2 existed, there is an inhibition of mercury oxidation, and NO has a greater influence. Addition of HCl can promote oxidation slightly but affect the initial concentration of mercury significantly. Little moisture content can promote oxidation, while too much H2O can not only resist the oxidation, but also affect the initial concentration of mercury. The mercury oxidation rate can increase to 97.95% at 12 kV/800 PPS with the system of 10% 02/3% H2O/50 ppm HCI. However, mercury oxidation efficiency can reduce down to 20% with 100 ppm NO added. 展开更多
关键词 Non-thermal plasma MERCURY OXIDATION flue gas cleaning.
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Basic Plasma Processes in Solar-Terrestrial Activities 被引量:2
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作者 WU DeJin FENG HengQiang 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2012年第12期1353-1356,共4页
Within the known universe,more than 99%of all observable matter is plasma,a state often highly dynamic and far from thermal,as well as mechanical,equilibrium.In particular,for our own solar-terrestrial system,various ... Within the known universe,more than 99%of all observable matter is plasma,a state often highly dynamic and far from thermal,as well as mechanical,equilibrium.In particular,for our own solar-terrestrial system,various plasma active phenomena frequently occur such as solar flares,coronal plasma heating,solar wind acceleration,and coronal mass ejections in the solar atmosphere;interplanetary magnetic clouds and collisionless shock waves in interplanetary space;and 展开更多
关键词 等离子过程 太阳能 日冕物质抛射 行星际磁云 地面 等离子体加热 地球系统 空间环境
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银河系及以外的行星状星云
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作者 M.J.巴罗 蒋世仰 《国外科技新书评介》 2008年第7期21-21,共1页
行星状星云乃恒星从渐近巨星支向白矮星过渡的短暂时段的形态。多波段天体物理实验室,对我们了解天体物理环境中的原子、分子、尘埃和等离子体过程起到了关键性的作用。近年来大量的研究集中在使用它们通常具有的强发射线波段在银河系... 行星状星云乃恒星从渐近巨星支向白矮星过渡的短暂时段的形态。多波段天体物理实验室,对我们了解天体物理环境中的原子、分子、尘埃和等离子体过程起到了关键性的作用。近年来大量的研究集中在使用它们通常具有的强发射线波段在银河系内及河外星系中搜寻和发现更多的成员,探讨它们多姿多态形状的结构和形成机制,包括流体动力学成形机制、 展开更多
关键词 行星状星云 银河系 等离子过程 成形机制 物理实验室 流体动力学 物理环境 河外星系
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Analysis of magnetotail flux rope events by ARTEMIS observations 被引量:5
19
作者 TIAN AnMin SHI QuanQi +3 位作者 ZONG QiuGang DU Jian FU SuiYan DAI YaNan 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第5期1010-1019,共10页
Three earthward flowing magnetic flux ropes observed in the duskside plasma sheet at geocentric solar magnetospheric coordinate X~–55 Re by P1 and P2 of acceleration,reconnection,turbulence and electrodynamics of moo... Three earthward flowing magnetic flux ropes observed in the duskside plasma sheet at geocentric solar magnetospheric coordinate X~–55 Re by P1 and P2 of acceleration,reconnection,turbulence and electrodynamics of moon’s interaction with the sun mission during 13:00–15:00 UT on July 3,2012,were studied.The morphologies of the flux ropes were studied in detail based on Grad-Shfranov reconstruction method and electronic pitch angle distribution data.It is found that(1)the flux rope cross-sectional dimensions are 1.0 Re×0.78 Re,1.3 Re×0.78 Re,and 2.5 Re×1.25 Re,respectively.The magnetic field lines were asymmetric about the center with field line compression on both sides of the current sheet at the leading region;(2)the electron energy flux data presented asymmetry with larger electron flux and lower temperature in the precursor region.The flux ropes were blocked by the resistance of compressed particle density in the front central plasma sheet and the enhanced magnetic field on its sides;and(3)it is found that the flux rope has a layered structure.From inside out,event 1 can be divided into three regions,namely electronic depletion core region,closed field line region,and the caudal area possible with fields connected with the ionosphere.It suggests that the flux ropes cannot merge with the tail magnetic field lines near the lunar orbit.Especially,the flux rope asymmetrical shape reflects the different reconnection processes that caused it on both sides of the magnetic structure.The events shown in this paper support the multiple X-line magnetic reconnection model for flux ropes with in situ observations. 展开更多
关键词 magnetic flux ropes ARTEMIS GS reconstruction method asymmetry
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Plasma-Particle Transfer Process with Phase-Changeand Chemistry Effects
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作者 WangBoyi TianWendong 《Journal of Thermal Science》 SCIE EI CAS CSCD 1998年第2期97-103,共7页
A numerical model is proposed to analyze mass, momentum, and energy transfer between plasma andparticles in d.c. arc-heated and confined jet reactors at atmospheric pressure. It emphasizes the phasechange and thermal ... A numerical model is proposed to analyze mass, momentum, and energy transfer between plasma andparticles in d.c. arc-heated and confined jet reactors at atmospheric pressure. It emphasizes the phasechange and thermal chemistry of particles and includes some other effects such as flow turbulence, gascompressibility and temperature-dependence of the transport properties under the plasma condition.Example calculations for plasma-dissociated zircon process indicate the influences of reactor operationparameters on the plasma jet and particle behavior. 展开更多
关键词 plasma-particle interaction transfer process turbulent jet phase change thermal chemistry numerical model
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