基于Fano共振的折射率传感器设计

设计了一种由金红石棱镜、ITO薄膜、氟化镁薄膜、氮化铝薄膜和待测溶液层构成的新型折射率传感器。该传感器全部由非金属材料构成,通过采用ITO薄膜取代传统的金银薄膜作为等离子体材料,可以在近红外波段激发出表面等离子体激元,有利于提高传感器的灵敏度。首次将氮化铝薄膜引入到折射率传感器领域,在生物分子固定和检测方面具有良好的效果。通过调节各层薄膜的厚度可以对传感器的参数进行调节,从而实现Fano共振和等离激元诱导透明。该传感器的强度灵敏度可达到1592.3 RIU^(-1),相位灵敏度可达到229716°每RIU,品质因数比传统的SPR传感器高183倍。该传感器结构简单,灵敏度高,在生物医学领域有着巨大的应用潜力。