等腰闪耀光栅的相位补偿设计

设计了一种新型同面相位补偿型等腰闪耀光栅。等腰设计保证了正负衍射级对称分布在光栅法线两侧 ;通过优化设计同面相位补偿槽的大小 ,可使衍射能量向中间级次转移 ,只保留两个衍射极大值方向 ,抑制 0级和高衍射级能量分布 ,避免能量的浪费 ,而且降低了高衍射级次光线因刻线阻挡导致的散射噪声 ,解决了加工对准与多次衍射的难题。通过理论建模和计算机仿真 ,分析了与反面相位补偿等腰闪耀光栅的差异 ,绘制了典型的衍射光强分布图。另外 ,还探讨了这种新型等腰闪耀光栅的灰度掩模二元光学加工方法。