用于筒镜分析器的陶瓷环高阻膜的研制

陶瓷环高阻膜作为筒镜分析器避免边缘电场效应的重要部件,其质量对电子能量分析器的性能有很大的影响。本文介绍了在陶瓷环上采用适当地分层蒸镀Cr膜和老化处理,制成时间稳定和温度稳定的高阻膜,经测试性能良好,并已实用于俄歇电子谱仪中。

筒镜分析器最佳工作参数的实验测试

利用筒镜分析器(CMA)固有的S形象差曲线求得最佳工作参数来设计CMA,可以显著地减小角度象差而大大提高俄歇电子能谱仪(AES)的性能。本文叙述用这一新方法设计的CMA的结构尺寸和测试结果,并与原按二级聚焦法设计的CMA的性能进行了比较。

电子能谱仪中筒镜分析器及其相关部件的维修

筒镜分析器(CMA)是俄歇电子能谱(AES)装置或AES同X射线光电子能谱(XPS或称ESCA)联合装置的关键部件。本文以ESCA/SAM550电子能谱仪中由于CMA故障,造成仪器没有AES和ESCA信号响应为例,介绍一种基本故障分析方法以及CMA和同轴电子枪等部件的维修保养经验。

电子束诱导表面组份变化的俄歇分析

本工作主要研究了超高真空环境中(5×10^(-10)Torr)多晶Al、Mo、Cu表面在3keV电子束轰击下,表面组份的变化。通过检测俄歇峰高随电子的轰击所发生的变化,对表面组份在电子轰击下所发生的变化进行了观察,并对这些变化的机理进行了探讨。

表面芯能级联合谱仪

本文叙述一种包含俄歇电子谱、俄歇电子出现电势谱、软x 射线出现电势谱和消隐电势谱等四种表面分析手段的联合谱仪。它们利用同一筒镜型电子能量分析器在带通、高通和无色散模式下运行,因此超高真空工作室的结构十分紧凑,并容易对同一表面用不同的谱加以研究。最后对本仪器的性能和每种谱的特点作了扼要的说明。