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超净气体输配管道的施工验收技术
被引量:
4
1
作者
张洪雁
《洁净与空调技术》
2002年第2期44-47,37,共5页
本文作为“高纯、高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的真正功效,严谨的施工保障措施,以及验收的检测方法等细节问题,为设计、施工人员提供一个良好的借鉴。
关键词
气体输配
管道
施工验收
管道洁净度
下载PDF
职称材料
超净气体输配管道的施工验收技术
2
作者
张洪雁
《工厂动力》
2002年第2期33-37,共5页
本文作为“高纯,高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的功效,严谨的施工保障措施,以及验收的检测方法等细节问题,为设计,施工人员提供一个良好的借鉴。
关键词
超净气体
输配
管道
施工验收技术
管道洁净度
终端过滤器
施工保障
集成电路制造工艺
清洁技术
原文传递
题名
超净气体输配管道的施工验收技术
被引量:
4
1
作者
张洪雁
机构
中国航天建筑设计研究院
出处
《洁净与空调技术》
2002年第2期44-47,37,共5页
文摘
本文作为“高纯、高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的真正功效,严谨的施工保障措施,以及验收的检测方法等细节问题,为设计、施工人员提供一个良好的借鉴。
关键词
气体输配
管道
施工验收
管道洁净度
Keywords
Cleanliness of piping Installation measures Terminal filter Test and acceptance
分类号
TU831 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
下载PDF
职称材料
题名
超净气体输配管道的施工验收技术
2
作者
张洪雁
机构
中国航天建筑设计研究院
出处
《工厂动力》
2002年第2期33-37,共5页
文摘
本文作为“高纯,高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的功效,严谨的施工保障措施,以及验收的检测方法等细节问题,为设计,施工人员提供一个良好的借鉴。
关键词
超净气体
输配
管道
施工验收技术
管道洁净度
终端过滤器
施工保障
集成电路制造工艺
清洁技术
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TU81 [建筑科学]
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作者
出处
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1
超净气体输配管道的施工验收技术
张洪雁
《洁净与空调技术》
2002
4
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职称材料
2
超净气体输配管道的施工验收技术
张洪雁
《工厂动力》
2002
0
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