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超净气体输配管道的施工验收技术 被引量:4
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作者 张洪雁 《洁净与空调技术》 2002年第2期44-47,37,共5页
本文作为“高纯、高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的真正功效,严谨的施工保障措施,以及验收的检测方法等细节问题,为设计、施工人员提供一个良好的借鉴。
关键词 气体输配管道 施工验收 管道洁净度
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超净气体输配管道的施工验收技术
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作者 张洪雁 《工厂动力》 2002年第2期33-37,共5页
本文作为“高纯,高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的功效,严谨的施工保障措施,以及验收的检测方法等细节问题,为设计,施工人员提供一个良好的借鉴。
关键词 超净气体 输配管道 施工验收技术 管道洁净度 终端过滤器 施工保障 集成电路制造工艺 清洁技术
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