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题名高功率VCSEL激光器光束发散角的测量方法
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作者
崔辰好
李正权
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机构
江南大学物联网工程学院
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期508-515,共8页
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基金
网络与交换技术全国重点实验室开放课题项目(No.SKLNST2023113)资助。
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文摘
垂直腔面发射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,简称VCSEL)由于其能发射出垂直于腔面光束的特性使得多个VCSEL激光器可以在同一片芯片上紧密集成,而不需要大量的空间;且VCSEL激光器使用共振腔的反射镜来增强光并放大,从而实现高效的光发射;通常情况下,VCSEL激光器的发光效率可以达到40至60之间,与传统的激光器相比,VCSEL激光器更容易实现高效率。由于VCSEL激光器的可集成性好、效率高等特点,使其广泛应用于3D感知、自动驾驶、光通信等领域。因此,VCSEL激光器的质量检测工作也显得越来越重要。随着VCSEL激光器进军高功率领域,其发光束的模式也经历了从基模变为高阶模的过程,光束已经从类高斯光束变为了类拉盖尔-高斯空心圆环光束。虽然传统的1/e^(2)、D86等算法在测量基模下的类高斯光束的发散角较为精确,但对于高阶模式下的类拉盖尔-高斯空心圆环光束,这些方法则出现了明显的误差。考虑到VCSEL激光器在自动驾驶等重要领域的广泛应用,其光束精确度的要求也随之提高。因此,本文采用了D4σ算法,针对类拉盖尔-高斯空心圆环光束进行发散角测量,与1/e^(2)、D86等传统算法进行了比较。结果显示,新方法在发散角测量准确度上最高提升了230。
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关键词
D4σ算法
光束质量
光束发散角
垂直腔面发射激光器
类拉盖尔-高斯空心圆环光束
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Keywords
D4σalgorithm
beam quality
beam divergence angle
VCSEL
Laguerre Gaussian hollow ring beam
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
O436
[机械工程—光学工程]
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