Ti/TiO_2多层膜的光电性能研究

用真空蒸发和自然氧化法在玻璃基底上制备了Ti/TiO2多层膜,并检测了薄膜的光电性能。电性能检测表明Ti/TiO2多层膜存在类负阻效应,多层膜的层间的类负阻效应比表面的更明显,薄膜的层间电阻率高于表面电阻率;用分光光度计测得试样退火前后的透射谱;用X射线衍射仪和扫描电镜检测了Ti/TiO2多层膜的晶体结构和表面形貌。

Al/Al_2O_3多层膜的研究

用真空蒸镀及自然氧化方法在玻璃基底上制备纳米量级的4、5、6、7对层的A l/A l2O3多层膜。采用称重法测定薄膜的厚度;在常温和低温下使用三点法测定多层膜的电特性;用扫描电镜(SEM)观察薄膜的表面和截面的形貌及成分。结果表明:制备的是纳米量级非晶态的A l/A l2O3多层膜,在常温和低温(77 K)下均具有类似负阻的特性。