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硅芯炉托盘控制系统的设计与实现
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作者 雷小博 《电子工业专用设备》 2007年第4期45-48,共4页
在介绍硅芯炉籽晶托盘构成及工作原理的基础上,重点介绍了以单片机Aduc812为控制核心的控制系统,并对控制系统硬件设计和软件设计进行了详细分析。
关键词 多晶硅 硅芯炉 籽晶托盘 控制系统 单片机 ADUC812
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